The influence of heating temperature and sizes of components upon stresses and defect formation in semiconductor structures under isothermal heating

In the work a complex analysis of the influence of size of components and heating temperature upon stresses and defect formation in substrates of the Si-SiO₂ structures is done. It is determined that alteration of shape and size of components can change stresses in the silicon substrate by an order,...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Datum:2001
Hauptverfasser: Agueev, O.A., Svetlichny, A.M.
Format: Artikel
Sprache:English
Veröffentlicht: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2001
Schriftenreihe:Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
Online Zugang:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/119334
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:The influence of heating temperature and sizes of components upon stresses and defect formation in semiconductor structures under isothermal heating / O.A. Agueev, A.M. Svetlichny // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2001. — Т. 4, № 4. — С. 307-312. — Бібліогр.: 15 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-119334
record_format dspace
spelling irk-123456789-1193342017-06-07T03:02:51Z The influence of heating temperature and sizes of components upon stresses and defect formation in semiconductor structures under isothermal heating Agueev, O.A. Svetlichny, A.M. In the work a complex analysis of the influence of size of components and heating temperature upon stresses and defect formation in substrates of the Si-SiO₂ structures is done. It is determined that alteration of shape and size of components can change stresses in the silicon substrate by an order, and the increase in heating temperature from 800 to 1100 °C increases the defect formation criterion by two orders. The optimum size and shape alteration range as well as the heating temperature for defect-free thermal treatment of structures are determined. 2001 Article The influence of heating temperature and sizes of components upon stresses and defect formation in semiconductor structures under isothermal heating / O.A. Agueev, A.M. Svetlichny // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2001. — Т. 4, № 4. — С. 307-312. — Бібліогр.: 15 назв. — англ. 1560-8034 PACS: 61.72 H, 73.40 Q http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/119334 en Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language English
description In the work a complex analysis of the influence of size of components and heating temperature upon stresses and defect formation in substrates of the Si-SiO₂ structures is done. It is determined that alteration of shape and size of components can change stresses in the silicon substrate by an order, and the increase in heating temperature from 800 to 1100 °C increases the defect formation criterion by two orders. The optimum size and shape alteration range as well as the heating temperature for defect-free thermal treatment of structures are determined.
format Article
author Agueev, O.A.
Svetlichny, A.M.
spellingShingle Agueev, O.A.
Svetlichny, A.M.
The influence of heating temperature and sizes of components upon stresses and defect formation in semiconductor structures under isothermal heating
Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
author_facet Agueev, O.A.
Svetlichny, A.M.
author_sort Agueev, O.A.
title The influence of heating temperature and sizes of components upon stresses and defect formation in semiconductor structures under isothermal heating
title_short The influence of heating temperature and sizes of components upon stresses and defect formation in semiconductor structures under isothermal heating
title_full The influence of heating temperature and sizes of components upon stresses and defect formation in semiconductor structures under isothermal heating
title_fullStr The influence of heating temperature and sizes of components upon stresses and defect formation in semiconductor structures under isothermal heating
title_full_unstemmed The influence of heating temperature and sizes of components upon stresses and defect formation in semiconductor structures under isothermal heating
title_sort influence of heating temperature and sizes of components upon stresses and defect formation in semiconductor structures under isothermal heating
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
publishDate 2001
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/119334
citation_txt The influence of heating temperature and sizes of components upon stresses and defect formation in semiconductor structures under isothermal heating / O.A. Agueev, A.M. Svetlichny // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2001. — Т. 4, № 4. — С. 307-312. — Бібліогр.: 15 назв. — англ.
series Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
work_keys_str_mv AT agueevoa theinfluenceofheatingtemperatureandsizesofcomponentsuponstressesanddefectformationinsemiconductorstructuresunderisothermalheating
AT svetlichnyam theinfluenceofheatingtemperatureandsizesofcomponentsuponstressesanddefectformationinsemiconductorstructuresunderisothermalheating
AT agueevoa influenceofheatingtemperatureandsizesofcomponentsuponstressesanddefectformationinsemiconductorstructuresunderisothermalheating
AT svetlichnyam influenceofheatingtemperatureandsizesofcomponentsuponstressesanddefectformationinsemiconductorstructuresunderisothermalheating
first_indexed 2025-07-08T15:40:26Z
last_indexed 2025-07-08T15:40:26Z
_version_ 1837093855690752000
fulltext 307���������� � � ����� �������� ������ �� ���� ���������� ��������� �� ���������� � �������� ��� � ��� �� ������ ��� ��� � ����� � �!" � � � ����� #� ����#�$#� %���� %#� �#� &�'(&��# ��� ����� ����� ��������������� � �������� �� ���� ���� ���������� ����� ������ ����� ����� ����� �� �� � ��� ��� ���� ������������ ��� �������� ��� ��� ������������ �������������� ����� �������������� �������� ���������������� �������������� � �������������������� ������������������� ����� ���� � �� ���������� �������������������� �� ���������������� ��� �������������� ������������������ �������� ����� ������������ ������������������ ����� ����� � ������������� �������� ��� �������������������� �����!"#$%� &���� �������������� ������ �����������'��������� ��� �� ������������������ ��������������� ��������������� � � ����������������������( ����� ������������� ������!"#)%� ��������������� ���� ����������� ������������ ��������� ��� �� �������������������� � �������� �� ���������� ���� � ������������������������� �� ����������*����� ����� ����� ����� �������� �������� �+���� ���������������������������� �� ��������������� � ��������� � ����������������������� �������������� ����� ��������������!"#,%��-����������� ���� �� ����������� ��������� ��������� ���� �����*�� ������ ������������� '������������������ �� ����� ��������� ���� ������������������������������ ���������������� ��+���������� ����������� ��������������������� � ��������� ��� ���������� ������� �������������������'��������� ������������� ����������� �� ���� ����������������� ������� �� ��������������������� �� ��������������������./���� � ���� ��������������������� �� � �� ��������� ��� ������� ����� ��� �� ��� ���� ������ ��������������� ��� ����� ������� ��� �� ���� ������������ ������������������� ��� ������������� ��������� ���( �������� ���������������� � �����.������������ ����� ����������������������������*�� ���������� ����'������������ ������� ��� ����������� ���� ��������������� ���� ��������� �+� ������ ��������'�������� ������������ ������������������� �� ���������� ��� ��������������� ��)�≥�0��&���������� ��� '������� ����������� ����� ��������������������������� ����×*��� ������������ ��������� ����� �������!"%����� �� ������������� �� ����������������������� ���������������σ��� ��� ������ ������� �������������������� �����σ��⋅����� ������ � ���������������� �������� �� ������������� ������� ������� �� ���� ����������*���+��,+������� �� ������ �� ����� ��� �����������!"0%� ������������������� ��������������������������������� ��������� ������������������������������������� �������� ������!""%� 1&����)"�2/�3��24�$0�5 �������� ������������������������ ����� ��������� ����������� ���� ��������� �� � ������ ���������� �� ������� ����� ��� �� ���� � ��� ����������� ������� ������� �������������������� -�.����.�� � ����+ � � �� ���/�������.�� ���.��0��(�'��� %%�� ��� �+ ���1�� ��-�.����.� &%'2�3��/� ��� �(����4� �. +5 �� #���� �4� 678&(%%9� 8(�8(�� � ������������������'��� ��������������������������� �� ������� ����� �������������������� ��������� � ��� ��������������������� ���������������� ���������������������./���� � ����������������������������� ������������������������������� ����� ���������� ��� ��� ���������������������� ���� �������������������� ���������� ��������������� ��������� ��������,00����""00�6���� ��������������� ������������ ����������� ��������������������� ���� �������������������������� ����������������������� ��������� ����������� �� ����������������������������� � ������������������� !��"�� �#������������������ ��������������� �������������� ������������� ���������� 1������� ������/0�0/�0"7������������ � ������� ������/$�"0�0"7�� ����������� ��� ������"/�"/�0"� 40, ��!��%6%9������ ������� ��������������������#��������� ������������������������ ����� ���������� x u xx ∂ ∂ =ε 7� y yy ∂ ∂ = νε 7� z w zz ∂ ∂ =ε 7� y u x xy ∂ ∂ + ∂ ∂ = νε2 7 y w z yz ∂ ∂ + ∂ ∂ = νε2 7� x w z u zx ∂ ∂ + ∂ ∂ =ε2 � ���*"+ 8���� ����������������������� ������������������������� ����� �����������������������*��99�������*�99��+����������� ���������*��:�������*�:��+� ���������� ����������� ������ ���� ��� ����� ���� ���� �������������������������� ��������� !""%� �������������*σ::�����σ���������������������� ��������� σ::�����σ))�������������������� ��������+ ������� ����*σ:��������������������� ����������σ:)���� ��������������� ��������+� 3��������������� �������������������������������������� �������������������������������������� ��� ����↔))��:�↔:) ��� ����������� ���� ����� �����������3��'� ������� ���������������� ���� ���������� ���������������������������������������� ���� ����������������������������� ������!""%�      ++ − + + = )( 211 zzyxxxxxxx v v v E εεεεσ 7 ( )     ++ − + + Ε = zzyxxxyyyy εεε ν νε ν σ 211 7������������������������������*/+ xyxy ε ν σ + Ε = 1 � ���������+�����;� � <����� ��������1������<����������� � ����������������� =��������������� ��������> ���� ������� ��������*σ�+��� ������ ���������������'������ ���������������� ������������� ���������� ������ ����������!"��4%��3����������� �����'������ � � ����������� ��� �������� ������������������� ���� �� ������������������������ ������ ������������������� �� �� �������� ������������� ����������#������������������� ��� ����������?� ��������� ������ � �������� ����������� �������� ����� ������������������ �� ������������������� ���� ������������ ���������� ��� �����������������!"/% ( ) xyyxyxyyxx yyyyyxxxxyxxsi σαααα σαασαατ '''' '''' ++ ++= *4+ ������α:′:��α�′:��α:′���α�′���α::′��α�:′���������� � �������������� �������� ������ ����������� ��������7�:��������������� ��� ���������������*�� ����� ������+7���������������������� ������ �����:7�:′������������ ����� ����7��′��������������� ��������� ���� ������ 8���������������������� ������������������������*4+������ ��������� ( ) ,'''' '''' xzzxzxzzxx zzzzzxxxxzxxsi σαααα σαασαατ ++ ++= ��������������������������������������*$+ ������ ����������������������*4+��������� ��� ���′↔)′7 �↔)� ��� �� �������� ������������� �������������� ������������� ���� �� �������� �� ������ ��*����4�����+�������� �����'� ����� ������������������ ����������������@"""A������������ ������ ����� ����������B""09������� ������������������������� �� ����� ������������ ������� ������������������ ����� ������ ���������� ���������� ��������� ��� ��������������������� � �����*00"+��������������������������������� ������������� ?� ����������������� ������ � ���*8� �/+� �����"/����� �� ������ ����������������� ��������*������"+� �� ��� ���$�� �� �������� ��� ���� ����%������� � � ��� ������� Glide system Glide direction Glide planes τ�" [ ]011 ( )111 τ�/ [ ]110 ( )111 τ�4 [ ]101 ( )111 τ�$ [ ]110 ( )111 τ�C [ ]110 ( )111 τ�) [ ]110 ( )111 τ�2 [ ]011 ( )111 τ�, [ ]110 ( )111 τ�D [ ]101 ( )111 τ�"0 [ ]110 ( )111 τ�"" [ ]101 ( )111 τ�"/ [ ]101 ( )111 ������� ��������������������#��������� ������������������������ ����� ���������� 40D��!��%6%9������ ��� ����� ���� ������������� ���������������� �����"/ ������ ��������������� �����'�������� � �������� ����� � ��������� ��������� ������������������������ ��������� ����� ������� ��*�����:+����������� ����������������� ������� @"""A�����������������*00"+����� ����'���C$62$′� ������� ���������� ������������� ���������� �� ���������� ����� �� ������ � �������� ������������������� ���������� ��������� �������������� �������������������/�����4������� � ������� & ����� ������������� ��������� ������������� ��������� ���������������� � ��� ������ ������������������� �� ��� 107411 SSSS τττττ ==== 98322 SSSS τττττ ==== 1211653 SSSS τττττ ==== ��������������������������������� �� ����� ������������ �� ������������������������������ � ��������������� ���� ������� �������� ������������������������������ ������ �� ������������!D%� ����> ���� ������� ��������������������������� ������ �����������������������������!"% �� ��� ��&�� ������ ������ �������� ��� ���� � ������� ������������ � �� �� �����%������� � ����� E�����system Edge force direction ]011[],110[ ]101[],011[ τ�" xyσ⋅ 3 2 − xyσ⋅ 3 2 τ�/ ( )xyxx σσ + 3 2 ( )xyyy σσ − 3 2 τ�4 ( )xyxx σσ − 3 2 ( )xyyy σσ + 3 2 τ�$ xyσ⋅ 3 2 − xyσ⋅ 3 2 τ�C ( )xyyy σσ + 3 2 ( )xyxx σσ − 3 2 τ�) ( )xyyy σσ − 3 2 ( )xyxx σσ + 3 2 τ�2 − xyσ⋅ 3 2 xyσ⋅ 3 2 τ�, ( )xyxx σσ − 3 2 ( )xyyy σσ + 3 2 τ�D ( )xyxx σσ + 3 2 ( )xyyy σσ − 3 2 τ�"0 − xyσ⋅ 3 2 xyσ⋅ 3 2 τ�"" ( )xyyy σσ + 3 2 ( )xyxx σσ − 3 2 τ�"/ ( )xyyy σσ − 3 2 ( )xyxx σσ + 3 2 4"0 ��!��%6%9������ ������� ��������������������#��������� ������������������������ ����� ���������� ( ) ( )     ⋅= nk� U ���� n� exp 1 ���������������������������������������������� *C+ ������;�F�$�C⋅"0C!����G �/%�������F�/�D����� ��������7 ��F� /�4!�H%� ��� ������ �������������� ��������� ���� �7 ε F�D⋅"0−C!�−"%�����������������������7���F�)�,C⋅"0�C!�HGI%��� ����J��� ����� ��������!"%� �� ��� '��&�� ������ ������ ��������� ��� ���� � ������� ������������ � �� ���� �����% ������ � ����� E�����system Edge force direction Upper sign for ]110[ Upper sign for ]011[ and the lower one for ]011[ and the lower one for ]101[ τ�" 0 xyσ⋅ 3 2 τ�/ XZZZXX σσσ         −±− 3 12 3 1 3 2 XZZZ σσ 3 1 3 1 �− τ�4 XZZZXX σσσ         −±− 3 12 3 1 3 2 XZZZ σσ 3 1 3 1 ±− τ�$ xyσ⋅ 3 2 0 τ�C XZZZ σσ 3 1 3 1 �− XZZZXX σσσ         −±− 3 12 3 1 3 2 τ�) XZZZ σσ 3 1 3 1 ±− XZZZXX σσσ         −±− 3 12 3 1 3 2 τ�2 0 xyσ⋅ 3 2 τ�, XZZZXX σσσ         −− 3 12 3 1 3 2 � XZZZ σσ 3 1 3 1 �− τ�D XZZZXX σσσ         −− 3 12 3 1 3 2 � XZZZ σσ 3 1 3 1 ±− τ�"0 xyσ⋅ 3 2 0 τ�"" XZZZ σσ 3 1 3 1 ±− XZZZXX σσσ         −− 3 12 3 1 3 2 � τ�"/ XZZZ σσ 3 1 3 1 �− XZZZXX σσσ         −− 3 12 3 1 3 2 � ������ �� ����� ������������ ������������τ����τ�������� ��� ���������� �������������������������� � �������������� �� ������ ������������'������ ��!"4%� K��� ��������������� �� ���������������� ��������� ��� ��������������������������*"#C+������ ������� ������� � ������������� ����������������� ��������� �������������� ��������������� ��� �������������� �������� �������������� ������� ��������������������#��������� ������������������������ ����� ���������� 4""��!��%6%9������ ����> ���� ������� ������������� ���������� �� ������� ���� � ���������������������� ��������� ����������� �������������� � ��������� �� ��������� ��� ���� ��%��� � ��� �� �� &����������������������� ��������� ���� ����������������� ������������������ �����""006���������� �������./������ �����������F�"µ����� '���������������� ���������������������σ�� ������������������ ������ ��� σ���F�σ�� �L�σ �� �����������������������������������������������������������*)+ ������σ�� ��������������� �����������������������σ ����� ������������ ���������� ������������������./������ ������������������������������ ��������!"$%� ��� ����������./������ ���� ���� ��������� ������!4%�����!"4%�������������������./������ ����������� ��� ,006�������������������σ�� �F�−/�"0⋅"0D����G �/7�σ ��F /�CC⋅"0D�����G �/7�σ���F�$�C⋅"0,�����G �/� �������� ����� �� ������� ����� �������������� ���� ��������������������� ���������������� ������σ::��σ����σ:���� � �������������������������������������������������������� ����8� ��4������ �� ���������������������������������� /00×/00�µ�/�*�������������������������×��F�"00×"00�µ�/+ �������)�)�µ������� &��������������� �� ���������� ���������������� ����� ������� ����������� ��������� ���������������'��!"��4# C�"0�""%� ���������������� ��������� �� ������������� ������� ����������� �������7 ��������� ������������������������������������������� ������ ���������� ���������� ���������������7 �� ��� ������������������������������ ��������� ���� � ������������������ ������ �������8� ��$� �� ���������� ������������������������� ��� ������������ ����� ������������������� ����������������� ������ ������������� ����� ���������������������������� �� ������������ �� ����� ����� ��� ��������0�"����"0������ *G��B�"����F� �����������'�������������*G��9�"�*�F� �������� ��'�������� �� ������������������������� ���� ���( � �����×*�F�"00×"00�µ�/������×*�F�"0×"0�µ�/��� ������ � � ���� &�������� ��� ���������� ������ ����� ���������� ���� "00×"00�µ�/��� ��� �������������"0×"0�µ�/��� ��� ����� ������ ��� ����������������� �������������� ����� �� �������������M������������� ��� ������� �� ����� ����� ���� ���������� � �����������"0�������� ���������������������� ������� �������������� ����� �����������'������� �� �� ��� ������� ���������� �������8� �C����������������� �� ���������� ���������� ����� ����� ������ ������������ ������������������ ���� ����������������� ����� ������������������������� �������� ��� ����������������������������������� ���( ������������ ������ �� �� ���������������������������8� �$� &����������� ���� ������������ ��� ���� ������ ����� ��� "00×"00�µ�/��� ��� ������������������������ ����� ���������� ��������� ���� ���������� �����������������������'����� �� =�����������"0×"0�µ�/��� ��� ��������������0�/C�B�*G��9�$�0� ���� ���������������� �����������'������ ���8 ������������� ����� ���������������������τ/������*G��9�"�����τ4������*G��B "������� ���� ����� �� ��������� ������������ �������� ����� ����� ������ ������������������� �� ������� ����� ����� ������� �� ������������ �������������� ���������� 3����� ��������� ����������������� �� ��������� ��� ���������������� ������������� ��� ��� ������� �������� �������8� ��)�����2�������������������������� ��������� �� ������������ �������������� ����� ��� �� ��������� ���������������� ��������� ������������� ����� �������� "00×"00�µ�/�����"0×"0�µ�/��� ��� ���������������� � ��������&�������������������������� ���������������� ����� ��� ����������� ������ ��� ����������������� ����� ��� ������ ����� ��������������� ��������� ���������������� � ������� ���������������� ��������� (���� ����� ��������������������'�������������������� ������������� ��������� ��� �� �� �������� �� � �������� ����� ������ ���������������������������� ����������������������� M����������� ��������������������������� �� ������ ���� ������ ����������� ���� ��������������� ��������� � ������������������������ ������������������������./���� � � ���� ������������������������������������������ ���� ���� ��� ��� ����������� ������� ���� ���������������������� ���������� ��������� ��� �����������,00����""00�6� �� ����������� ������������ ����������������������� .���� �������� ����� ��������������� ��������� �� ������������� ���������� ������������������������������� � � ������������������ &���������������������������������������������� �� �� ����� � ����� ��������������������������������� �� ��'�������� � ����� ���� ��������� ������� ����������� � �� �������������������� ����������� ����������� �������� ������������������������� ����� ������� ���������� ��� ������ ������������� �������� �������������������� �������������� ��� �������� �� � � ��� ������������������������� ��������� ����� � ������ � ����������� ����� ����� ��� �������� ��� ����������� ����� ���������������������������������������������� �� ���� ����������� �������� ����������� ������ ����������!"C%� / � � �� "� ��M�3 �� ��������������� �������� ��� ���� ��� �� ����� �� GG� <# �""�#���� #�)*�� ���NC4� *"DD"+� /� ����� O�����3�>��M�����I�� 1�������� ���P��=����� ��������� ��� �������� ��� ����� �������� ���� ��������� ( ��� ��������� ( ��� � ������������� ��������� ������ �� ����� �� GG�<#��""�#���� #�)+� ��� ,"$C� *"DD)+� 4� -�1�� Q�'�������R�H�� J� ����������= ��������� "� ��� � ��� �>��M�� ����N����� �� ���� <�� "DD/� *���N �����+� $� H���� ��� �����S�R��I ��������H�R�� T���� ����� � � ��� ���� � ��� �>� � � � #�M�� ���� N����� �� ���� <�� "D,2� *�� N �����+� C� O�� H������������� ��� &����� '��� 8������ ����� ��� ������ ������ ���������� ��� ���� ��� � ��������� GG�<#��""�#���� ��,��� �� /"20� *"D,2+� )� ���M��<��������P���� ������� ����� ����� ����� �� GG���� #� � � # ���#� 6�9� �)��� ��� 42"� *"DDD+� 4"/ ��!��%6%9������ ������� ��������������������#��������� ������������������������ ����� ���������� 2� N��8� ������ O�M������ ����8������������ ����� ��������������� ��� ���� ��� ������� GG���� �����/ +� ,�?��-'*"0+�� ��� )/,4� ,� P�����N����=����� � O���� ��� ���� T��� Q��� �� �=�� � Q������ �1�� ��8������ �������� ��������� ������ � ������� ���� ��� ��������� ������ ������� ��� ���� �������� ����� ������� ��� ������� GG ��� #�� � #����#� 6�9��)��� ��� $$4� *"DDD+� D� S�R��R �����R�U�������� �����>��� ��������������� �� ������� ��� ��������� ��� ��������� ���� ���� �� ���������� ��� �� � ������� ����� ����������������� � *���N �����+� GG� �)+ ����-/-���V4� ��� /"� */000+� "0� ������������������������� �������������W���W�������� ������������� ����� ������ GG�<#��""�#���� #� -.*$+�� ��� /2,/� *"D,"+� ""� J��J����� O��=�������-� ���� ��� �" �� �� � � #�M�� ��� M���� "D)$� "/� R��8�� �������� ���������� ���� ������ ������� ��� *"""+�� ���� *00"+ ���� ��� ����� ��������������������� ���GG�>�� ���/ # - �����# *�� ��� )C� *"D,C+� "4� .�&��& �����&�M�������� ����������������� � �������� ������� �� �� ���� ����� ��� ���� ��� ������� ������ ��� � ���� �� ��������� � ������ � GG�� �������� ��� ��� �� ������ ����� �( ����� � �!" � � � ����� �� '/4+�� ��� 44,� */000+� "$� ;#>#1�����#�#=��������>����� �������� ������� ����������������� ��� ����� ������ GG�<#�""�#��� #�) �� ��� 4$C,� *"DD/+� "C� 8�P��I��������P�R���� �������8�E��& ������R�U�������� ���� S�R�� R ������� �+� �� "��� � ��� ����� � � ������ ��( ����.� #� J�' �� >TM�� /000�