Microfluctuations of oxygen impurity concentration as a reason of accelerated oxygen diffusion in silicon
Activation energy of thermal donors annealing increases from 1.7 to 2.5 eV on preliminary heat treatment of the Si crystals at 800⁰C. It is believed that this fact results from the dissolution of oxygen microfluctuations that are considered to be sources of intrinsic elastic strains and thereby to l...
Gespeichert in:
Datum: | 2000 |
---|---|
Hauptverfasser: | , , , , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | English |
Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2000
|
Schriftenreihe: | Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics |
Online Zugang: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/120226 |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Zitieren: | Microfluctuations of oxygen impurity concentration as a reason of accelerated oxygen diffusion in silicon / V.B. Neimash, O.O. Puzenko, A.M. Kraitchinskii, M.M. Kras'ko, S.Putselyk, C. Claeys, E. Simoen // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2000. — Т. 3, № 1. — С. 11-14. — Бібліогр.: 17 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraineid |
irk-123456789-120226 |
---|---|
record_format |
dspace |
spelling |
irk-123456789-1202262017-06-12T03:04:56Z Microfluctuations of oxygen impurity concentration as a reason of accelerated oxygen diffusion in silicon Neimash, V.B. Puzenko, O.O. Kraitchinskii, A.M. Krasko, M.M. Putselyk, S. Claeys, C. Simoen, E. Activation energy of thermal donors annealing increases from 1.7 to 2.5 eV on preliminary heat treatment of the Si crystals at 800⁰C. It is believed that this fact results from the dissolution of oxygen microfluctuations that are considered to be sources of intrinsic elastic strains and thereby to lie at the basis of locally accelerated oxygen diffusion. 2000 Article Microfluctuations of oxygen impurity concentration as a reason of accelerated oxygen diffusion in silicon / V.B. Neimash, O.O. Puzenko, A.M. Kraitchinskii, M.M. Kras'ko, S.Putselyk, C. Claeys, E. Simoen // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2000. — Т. 3, № 1. — С. 11-14. — Бібліогр.: 17 назв. — англ. 1560-8034 PACS: 61.72.T, C, 66.30.L, 72.80.C, 73.61.C http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/120226 en Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
collection |
DSpace DC |
language |
English |
description |
Activation energy of thermal donors annealing increases from 1.7 to 2.5 eV on preliminary heat treatment of the Si crystals at 800⁰C. It is believed that this fact results from the dissolution of oxygen microfluctuations that are considered to be sources of intrinsic elastic strains and thereby to lie at the basis of locally accelerated oxygen diffusion. |
format |
Article |
author |
Neimash, V.B. Puzenko, O.O. Kraitchinskii, A.M. Krasko, M.M. Putselyk, S. Claeys, C. Simoen, E. |
spellingShingle |
Neimash, V.B. Puzenko, O.O. Kraitchinskii, A.M. Krasko, M.M. Putselyk, S. Claeys, C. Simoen, E. Microfluctuations of oxygen impurity concentration as a reason of accelerated oxygen diffusion in silicon Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics |
author_facet |
Neimash, V.B. Puzenko, O.O. Kraitchinskii, A.M. Krasko, M.M. Putselyk, S. Claeys, C. Simoen, E. |
author_sort |
Neimash, V.B. |
title |
Microfluctuations of oxygen impurity concentration as a reason of accelerated oxygen diffusion in silicon |
title_short |
Microfluctuations of oxygen impurity concentration as a reason of accelerated oxygen diffusion in silicon |
title_full |
Microfluctuations of oxygen impurity concentration as a reason of accelerated oxygen diffusion in silicon |
title_fullStr |
Microfluctuations of oxygen impurity concentration as a reason of accelerated oxygen diffusion in silicon |
title_full_unstemmed |
Microfluctuations of oxygen impurity concentration as a reason of accelerated oxygen diffusion in silicon |
title_sort |
microfluctuations of oxygen impurity concentration as a reason of accelerated oxygen diffusion in silicon |
publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
publishDate |
2000 |
url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/120226 |
citation_txt |
Microfluctuations of oxygen impurity concentration as a reason of accelerated oxygen diffusion in silicon / V.B. Neimash, O.O. Puzenko, A.M. Kraitchinskii, M.M. Kras'ko, S.Putselyk, C. Claeys, E. Simoen // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2000. — Т. 3, № 1. — С. 11-14. — Бібліогр.: 17 назв. — англ. |
series |
Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics |
work_keys_str_mv |
AT neimashvb microfluctuationsofoxygenimpurityconcentrationasareasonofacceleratedoxygendiffusioninsilicon AT puzenkooo microfluctuationsofoxygenimpurityconcentrationasareasonofacceleratedoxygendiffusioninsilicon AT kraitchinskiiam microfluctuationsofoxygenimpurityconcentrationasareasonofacceleratedoxygendiffusioninsilicon AT kraskomm microfluctuationsofoxygenimpurityconcentrationasareasonofacceleratedoxygendiffusioninsilicon AT putselyks microfluctuationsofoxygenimpurityconcentrationasareasonofacceleratedoxygendiffusioninsilicon AT claeysc microfluctuationsofoxygenimpurityconcentrationasareasonofacceleratedoxygendiffusioninsilicon AT simoene microfluctuationsofoxygenimpurityconcentrationasareasonofacceleratedoxygendiffusioninsilicon |
first_indexed |
2025-07-08T17:29:51Z |
last_indexed |
2025-07-08T17:29:51Z |
_version_ |
1837100743765524480 |
fulltext |
11�����������
� ��
�����
�
����
������
������
������������
����
������
������
��
���
�
����
�� � ����
�������� ��� ����� �
�
����� !
���� �
�
��"� ����"�#"� $���� %"� �"� %%&%'"
��� �����
�����
������������� �
�������
�
���
��
��
� �����
��������������
����
�
����������������
�������������
��� �
���������
�����
���� �����������
������ ���
�������
���� ������!"#$%&
����
����������
���
�����'����������
����
������������
� ��
���
��
������������������
���������#�(��������
��(� ����������������������
(���� �����!)%&�*��
�������
����+��,����-�������.������+-.��
����!�%������
�
���
�
������
����
�
���
������#�/���#��������������
���������
� ���� ���
��
����
�� ��� ������ � �
�
���/����"� �
�
������&��������('��0�
�������
�������������1����
����
�
������������
� �����������
���������
2�' �����(�
�����
�
�������
�
���
��
���
��������3���(������4�$&�5������3��
��� ���������� �
� �������� ����������
�� ���� ���
���
���������
'���3���������������!��6%&�*��
���'������
�������
��
� �'����������
���
���������������
(��/���� ��
�����������������
���
���������
����������
� �����
�����
�����
�� ��7-�#� �
� ����� ����
� ���� �
���������
�� ��
���
��� ��
��� ����������!�8%&�*�������������������
� ���
��
���������������
����
������
����#�������
����������
�
�
��
����������
������
����&�9�����������#�����
� �
�����������
��������
��� ����������������
������ ����#������
���������
�������7-������'
���
�#������
�������'�
���������
������
���
����������'��0�����
��&�����#������
�
���'����
��
������������7-������������
����������&
(�3��#�����������������
������0��������
����������
�
��������������
������������������������
���� ��������
�
��������������
������������������� ����������
�����������
�����
��/����"�������&�������
�
��������������(
�0�(����
�����
����(�����
���(
��'
3��������'����
��������'
��
�����������
�����������������������'�����������
����(���
����������
������
'���3���
��&�-
�����������
��#������
�
�����
��������������������
�������������������
�������6��
2�
��������������
����������������
������
�������(��
�����������������&
�� ������������
��������������� ���/������������������������3�� ��������
������
��"��:";��<�
=>
&��� �����������'
���
�����
�����
��������
�����' �
���������
��"�×)�
$���
����
���� ��������� �'�
����
�� �������� ��� ���� 3������ �
�� 8&"
����"?&��µ
#�(�����1�����
��6÷"��="�";��
�)�����@��="�"?��
�)#
��������3�� &�7������
�����
��ρ�(������������
���' ����
A�
�����
'���
���
�B�����
���
��������&�-���������
��
���
���������
�������(��������
��������
�������
3�����
��������
��
'���� �(�������
����
�'���1�����
")���>C$D�E��&��
������&�&�����0�������
���������
��
�������
����
�
����� ���(��������
�������
��������������
�
�*�/F�?"&;$&�#��#�??&)�&G#�;$&6�&�#�;)&?"&�
�������
��
����������������� ���
�����������������������
�������������������� �������� ���
����� ��� �������
��������������������
!��"����#����$���������"����������$���%"���� &�
�����"���'��'�����
�(� ��
��� &�����
%���
� ��
�� ���
�
����
�� ����
���
�������� '(�� !�
�!�� �����
�� �$��)��*�
+������
��
��,�-�� .(��*�!��������� /&$��%�0��+���� /��1
��
$*��0��+���� ��� &���2�� 3'��*���
�����,���
�������� /&$��%�0��+���� /��1
��
#)��������*���3���
�� ����� �
�� ����
��� �
�
��� ���������� ���������� ��
� "&;� �
� $&�� �E�
�
�����
���� �����������
����
������/���� ���������6��
�&�5�����'����3����������������������������
���� ����
����
��
��
� ����
���
���������
��� ����� ���� �
��������� �
� '�� �
������
�� ���������
�������� �������� ���� �����' � �
� ���� ��� ����'�����
�� �
���� � ������������
� �����������
�&
$��*�� �+� �����
�#� ����
��� �
�
��#� �������
��
�� �
� ���#� ��������������
�����&
�����������3���$�&""&88H���3�����
���������������3���$�&"$&88H�����������
����'������
����&�"&��&
"$ �� ��$4%5������
�������������������+��������
��
��������������������
���������������������
���
����
�#�(������
#���������
���������
���
�������������
��
������������������������������
����#���������3�� &������
��
����
����
�����(�������0���������
�������
���������ρF
5���"��#�55���"?�#�555���";��<�
=>
&�9
��� ������
�������
�����(������������
���(���������
����
��������(�����
��
��
������
��������
���(������������&�5�
����
�������
�����
�����������I"��
�������������(������������
�������
����
��
���������&����������
��������������3���(����1���
�
��÷$��
������&�����
������
�����(����
����������
��
��������
������
�������������������&
(��,��
���� �� �-���
�����
� �������������������
��� �������� ��D� �3����������
�
����������
����������
��������
(��
��-��&�"�����
��$��
�
����������
����������
����
����#����3�
��� ������������6���
2
�������)��
������#����
������ &�5�����
'3�
�������������
����
��
���������
������
(����
(��������� �����6���
2&
����5.��'�
����
��'����
��
� ���������������� ���
��
�
������������ �������&�5�������������
��'������
����������
�����������������������
�����
���
������
���������
��
� �
������
������� ���������������� &����������
�����������
����
����� �D� ����������(����������
��
�� ���������
2���
���������&�5��������������������
������������ ���6���
2�
(������������������
���������������������(��������������
�
�������
���������������
���&������������������
������
�����
'���3������!$#�"�%#������������'������������(�������
��
����������� �' ��������������
������� ���6���
2��
�
�������
��'
��������������'
3��� ����
��
����&�5�����
�������������������������������������' �����
����
��
��/����"
������������&�5���������
���
��#�' �A��������
�B�
�����
�7-�������������
��'
����������
�����������������
��
�
� ������
�����������
�����
�����������������������
�
�7-&��
���
��������
�����
������ ���
���������'��
��
�
���'���(����������
������
������� ���6���
2��������
�����
������������ �������&�.���� #� ��� ����������� ���
�
����
��� ����
������/����"�������������#������ �
�6���
2������
�� ����������������
'���������������
��������
�� �����#�'��� ��� ����
�� ����'��� �
� ����������
�
�����������������&�5����������������������7-#�����������
�
���'����
������������������
������� ���6���
2��
�����
��������������0��������'�������
��������
������������
����&�5�����������#����������������
���
���������(���������
�
�����
���������
�������������
���7-��
����,���
�������
���������� �����!�%&��
�����������#�'�������������
�
���
�
������
��
���������������
�����
���#�����*�������������������
����������������������
�����������
��
����
�������
����
���#
�������������� ������������
������
������������!""%&����
� ���6���
2���������'����
���������
�����
���������
��
�
� ������������7-����#����
������ #��
�����
��������
��
��
�������������
���
��������&�������
��#��������
���'��
�
���������������
��������������������0�����������������
� ���6���
2��
(�����
����������
��
����������������
�
�������&
*���������
�������
�
����������
2�����(����������
' ��������(
���
���������F��"�������"��
2&�*����������
�
���������#����������
���
�����������
�������������#��
��
������
������
������
������
���
��
��
��
��
��� ��� ��� ��� ��� ��
���
������
������������
��
������
�������������
.�����������������
�� ����
�
�
�� �
���������
��
�� ����� ������
���� ��
�� ��� ���� ��&
������
������
�����
��
��
��
��� ��� ��� ��� ��� ��
�� ����
������
������
�������������
���
�� ��
�� ������
� ���� ����
.���
�� ������������
�� ����
�
�
�� �
�
���
�� �����
������� ������
���� ��
�� ��� ���� ��&
�������������������+��������
��
��������������������
���������������������
")�� ��$4%5������
���
��
��
�����0�����
������������0��������&�
(�3��#
�������3�������
����������������
������������������
�������
��������������������
�������������&�������
��#��������
��
��'����
����������������
����'���
�����0��������
�����������
��
���
���������
�����������0������������������������
���&�*��������
���#������������
������
����
�
����
��
��������
��
��������������
������"��
�������
(�����-��&
)F�(���
�������� ����������������� ��6��&�������
�
�����������(���
'������� �
����������������"��
2&� 5�
-��&�)��
������
�����
����
������
��������
���#��
������
����������
�����
�����
��
����������
��
���
��' ���
���
��������������
��
������0������4�6������� Dτ�&�J��
�������3������
��'
�������
������������
(�������&
5�����
'3�
������������������
�������(����������'���'
������
����&�5����0�����������������(��3����
����&�5�����
'���������
������������������� �����6���
���
�������'�
��
(���
(��������
�����
������������������������"�
�����"��
2&�*��(���
��0����'
3�#�������������������
�
3��������
������
���������
����
����
��3��(��'
��������
�����
����������
���
�
���
��
�����������
���
���������
��
��
��
� ���� �
���������
��&� ����� ��#� ���������
�
���
�
������ �
����������������'���
��
��
� ����
(�
���� �
� �����
���� � � �� �6���
2�� �������� ���
��
���
�
����
���������'���
��
�������������(���&�5�
�����(
���#�
���
���������
���������#��
�
���������3��
��� ������������6���
2��� �����#�����
������&�*�������
����#���������������������
�����������������
���
��������
�' �������������������������������������������
�������������
����������
�������������������������������������������(���&
.���� #���������3���
������� ��7����������1���������
��ν
�����������#������
�����' ���� ��
�����������
�� ���
������������"�������"��
2#�����
�������������������
����� ����� 6���
2&�-
�� 3���
��� ��
����
�� ��
����F
���4"&?�÷"&66� �E#�ν�4�?&)="�6÷$&)="�;� ��"�(���
��� ���
� ���������4�$&)÷$&�;� �E#�ν 4�"&6="�""÷$&�="�"$� ��"
����������� ��6��&������������(����������
��3������
�
����������
�������������
��
����
���
�F�7��4�I��&����E
����∆ν 4�I���K�������������� �����������'
���������'
���
�����
����
�������������
�����������'��(������
'���
������'���
��
�����
���3���
���
���������
�&������
��
(�
��������������� ��'
�����&�*���������
�������
���������
�����������' �����
������
������
�����(���������
�����
'��
���
��������"�
����������'��(����
�����������
'��
��
��������������������
���������
��
��
� ��������������
��
�����
���
��������������$��K&�������������
��
�������
�����������
���
��"$���
����������� �����������������
���� ��
�����������������3���
������� ��������1���������
�
��
������������
����������������� ��6��&�/���� ���
�����������
���
���'����
���������' ��������
��
���
�����
�����
��
��/����"�������������������
�&�5��(������
�#�����
����������������7-���
���#��������
�����������������
������ ����
���'����
���������' ��������������
�� �������
����������������(����������������' �'
��������7-����
�����������������&�������
���������
����(�����������!""%
(���������������
������
����
���
����������������
�����
���������
����������(������
��������/�&
5�����
�������(��������+-.�
���#��������
��
��
� �
������
���������
��������
����
������'
����
�
���
�����
������������
�������
���������&� ����#������������
�
7���������������������
���
�����
����
��
� �����������
�&
������������������
��7������������� ��6���
���������
�������
��
��
� �����������3������ �
������
�
�
�������
�������������������
&�5������'���������' ��������
��
�
�
�������������������
������ ���������������������
���������
(�����
�����������
��
��
� ����
���
���������
��������
�
�����
������� ��6��&�*������
����'���������
��������#
7��4�$&)÷$&�;��E��
��A��
(����
(�B������������� ��6���
�������
�#�����������
����
���3�����
������3���
������� ��
�
�������
��
������������
� ����!"$�%&�5�����������(���
��
����� ��6���(����3��7��4"&?�÷"&66��E&�5���
�����
���
�
�����3���
������� �
������������������
�� !")%#����
�
��������������
��
��(�������������
���
���'
���A���
���������B��������
��
��
� ����(�����3
�3���!")%&�9����
'�����
��
'��������������#��������
���'����
�����
������
�������������������
��
��
� �������������������
��
�����
����������������
�� ��
����
�����
��
��
� ����(����
���� ������� ��� ��������� ������
�� �� �� ����� ������
���
���������
���(���������
� �����
���������
�&������
���������
����
� �����
����
����������� ��������":$�K
!8%&�
(�3��#�������1�������
�����
�����������
��
������
������
����������
��
�������������������������������&�-�
�����
����
��3��(�
�����������
����(������������ ���1����
������3�� �
'�������������
�������������&
J
(�(�����������
�����"��
2�����������
����������
���������
�����(�������3���������� ��6��&�*��������
���������������(������������������������������/�����
�
������������"��
2���
������
���� �' �
�����
������������
�
�����
��������������
��������,��
��
� �������������������
������
������
������
������
������
��
��
��
��
��
�� �� � �� ����
������
����������
��
��
�������������
��� ����������������
��
�
����
�
.���(�� ������������
�� ���� �
�
��� ��� ����������
�� ���������
��
������"�� ��&
"� �� ��$4%5������
�������������������+��������
��
��������������������
���������������������
�����
���������
2� ��� ����� �������������� ��,��
��������� �
�
�����������
������"��
2�!"��%&
+��������
���������������������������
��
���
��
�����
������
����
������'��(��������
(�
τ
�
�
��
−= LL�"�
( )�8�� D���
"
−=ν
τ
�$�
(������������������
���������
�����
����
����
�� &
5���������
������������
������
����
�
���' �(� �
�
����
�����
�#�����
� ������
�
����
3��
���
���
�
���������∆9���
�(���������
�����
��'����������������&
-
������#�������
�
����
�0���∆9D�
��$��������
��M�
��#
(������
� ��� �����������'��(���������'
��� �������������
�N����&�����
( )$D
"
�9
�
�
��
∆
−=
τ
�)�
����
'���������
�������
����3�����
��τ�4�τ���������
�
�����3����
��
3����
������
� ������
�
�������������
�
∆9&�5������'�������
����
τ9:9 =∆ # ���
(�����:9�����������
������
��
������������
� ���&�G��O�
����������
��∆9��
������������3������
��:9��������� �(���
'�������' � 3���
��� ����
��F� �
��:9�4� �&�8=�����$&�
�ED�8��!�"��%����(���
'�����������"��2F�∆;�4�)��Å&�-
��:9
4��&�;=������ $&��� �ED�8�� !"?%#�∆9�4�$"�Å&�-
��:9�4
4��&�$=�����$&�$��ED�8��!"�%#�∆9�4�")�Å&�-
��:9�4��&";×
×�����$&����ED�8��!";%#�∆9�4�"?�Å&�5�������������
������
�������#��������������������
������
����
�
�������'���
��
�������������
�����
��
��/���� �
�����(���� �
��
(���
�������
��
������
��
��
� ������
�
�������������
���
�
�������
�����
�
���
�����������
��'��(����������
����
����/����"�����&
J
(�(������������ ��� ���������
������������
�� ���
������� ��� ��
�����(�������3���
���������� ��6��&
*������
�������!")%#�����3���
������� ����
����
�����
�
�����������
�����
������1�����
�"&;��I"��E&�������
�
3�����
��7�����
'�������' ������
�������
����
��������
����������(���
���� �&������1����� �
������3���
�������
3�������
��'
�����������
������������������
��������
��
����
�����
�����+-.�
���#����(�������������������
�
����
����
�
������������
�����
������������������������
�
����������������
���
�����' �
� �����������
�����(������
��
�����
�� ������ ��������
�&� G��O�� (����� �
(�� �
����
��������(��������
� �����������
������
��:9�4�?&$?="�
�)×
������"&6�ED�8�����
'���������
�������
����
���������
������������
�����!"�%&�/�'������������������
����������
����
������3�����
��τ�#�(�������3��∆;�4�;)��Å&�����������
�����
�����
�
���
����������(��������� ��������������������
�8� ���<�4��"�
�2��
�� ����� ������� ��� ��
'�'� � ������
���
���������
��
��
� �����
���������
��
�����������
�
����
����
�
���(�������3��������,����'
������������
�
Å�����ö
�������
�����
���������
�#��
�������'� ��������
���������3�������
��&
����#� ����1���������3������ ����
��
'��������������
�����������������������������3
���
����������
���
��
�����
��������
��
��
� ���� �������
�� ������� �����7-����
���
���������
�� ����
����
�
��&����������
��
� ���
��
�#�'�������������7-#��
����
�����������3���������
��������
��������
�����
���#�������
���������3�������
�
����������������������
��
��
� ����' ��������
���
�����
�
��������&
������������������ ����
�� �������� ���
�� � ����
���&
(�3��#����
���
����
�#�������������������
�������
��
(���
�
������
��F
"��7���
���������
���
��
� �����
���������
��(���
��,����'
���;������� ��
���
��������������������
�����
��
�������������/�&
$��9
�����������
����������������
���������#��
�
���������
���
���������
����������
���
����,���
��
�
��������
� ����
���
���������
�#������
�������'�
������������' �����������
��
��
� �����������
����
�������
�� �������� ���
�
���
��� ��
��� ���� ������
���
���������
��'
��������������������7-&
=���������
"& � �&/&� -�����#� P&*&����,��'���#�J&9&� ���� #� Q&� 9������� DD
����"=�+"#� /0#� 6))� �"8���&
$& E&7&� 9�'���#� 7&5&� 9����0��#� Q&-&� E�����&� 9�1���
�
�
�
���� ����
�� �
�
�
�#� AJ��0
3����
0�B#�+ �3#� �&� $)8#
�"88;�&
)& G&5&�7����#�E&�&�7��0�3���#� ��� ��
�&� 5��&��
��&�
����
����
����8����
�
1��
��:���� �-
� �
��
�� ���
�
����
��#� Q�&�+&
/�
��
� �J
����
�����#�*
������
#� "88��� �&� "8�&
�& R&�+��,��#� &� -�����#� &�.����� DD�����"=�+&#� ��
#� �&� "��?
�"8�6�&
�& �&7&�+�'�����#�E&9&�J��
���#�E&7&���
��O#�E&�&� /��
� DD
����
�
�������"� >
���&#�12#� �&� $"6� �"88��&
?& �&7&�+�'�����#�E&9&�J��
���#�E&7&��
��O#�E&5&�/��0�
3��
3#
*&E&� 9�������#� E&E&� E
�
�0
3#� S&5&� E
�
�0
3�#� E&�&
+�������0��� DD�����
�
�������"� >
���"#�(3#� �&� )�� �"88)�&
;& �&7&�+�'�����#�E&9&�J��
���#�E&7&���
��O#�G&5&� /������� DD
����
�
�������"� >
���"#� 12#� �&� "�;8� �"88��&
6& J&�&�9�����3#�J&*&�E��
3�0��#�G&/&�E�����0
#��&E&�7���
3���
DD�?
@"�8���"��
��!�
+"#��4#� �&� "8;8� �"86)�&
8& �&5&�9���0�3���#�E&�&�7��0�3���#�G&5&�7����#�E&E&� ����
3� DD
?
@"� 8���"��
��!�
+"#�
0#� �&� ?6$� �"88$�&
"�& E&�&�7��0�3���#�G&5�7����� DD�����"�� � "� �
�
�
"#�#���#�+"�8
�"868�&
""& G&*&�+�,�0�3���#� �&-&� G���0
3� DD����� �
������ ����
��"
���
��A�,� ��
���"#�/#� �&� ";�� �"86$�&
"$& S&�&�R��0���#�P&R&��
�'���#�.&/&�7��
�����DD�>"��!!�"�����"#
5(#� �&� ;�8;� �"86$�&
")& G&5&�7����#� E&�&�7��0�3���� DD�?
@"� 8���"� �
��!�
+"#�
#� �&
")$�� �"866�&
"�& .&�&�J�(
��#�7&P&� 9����#� -&7&�G�3�����
�#� /&�7���
�
���
DD�����
��"#� ��0�#� �&� $?�� �"86)�&
"�& T&� ��0��
#�7&�7�0�#� ��F� ���
�
����
�� �
�
�
�#� "8;)#� Q��&
&.&� ���� ����.&.&� 9������#� ���� ������
���
����� /
���� #
��������
�#� "8;)#� �&� �?8&
"?& � P&�&�7�00������ P�&� DD��!!�"�����"�0� "#�12#� �&� ))?� �"86$�&
";& 7&� /��3
��#� P&.&� �����#� G&�&� +�
������#� �&Q&� -�������� DD
�!!�"����"0� "#� 1
#� �&� ;)� �"86)�&
|