Microfluctuations of oxygen impurity concentration as a reason of accelerated oxygen diffusion in silicon

Activation energy of thermal donors annealing increases from 1.7 to 2.5 eV on preliminary heat treatment of the Si crystals at 800⁰C. It is believed that this fact results from the dissolution of oxygen microfluctuations that are considered to be sources of intrinsic elastic strains and thereby to l...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Datum:2000
Hauptverfasser: Neimash, V.B., Puzenko, O.O., Kraitchinskii, A.M., Krasko, M.M., Putselyk, S., Claeys, C., Simoen, E.
Format: Artikel
Sprache:English
Veröffentlicht: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2000
Schriftenreihe:Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
Online Zugang:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/120226
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Microfluctuations of oxygen impurity concentration as a reason of accelerated oxygen diffusion in silicon / V.B. Neimash, O.O. Puzenko, A.M. Kraitchinskii, M.M. Kras'ko, S.Putselyk, C. Claeys, E. Simoen // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2000. — Т. 3, № 1. — С. 11-14. — Бібліогр.: 17 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-120226
record_format dspace
spelling irk-123456789-1202262017-06-12T03:04:56Z Microfluctuations of oxygen impurity concentration as a reason of accelerated oxygen diffusion in silicon Neimash, V.B. Puzenko, O.O. Kraitchinskii, A.M. Krasko, M.M. Putselyk, S. Claeys, C. Simoen, E. Activation energy of thermal donors annealing increases from 1.7 to 2.5 eV on preliminary heat treatment of the Si crystals at 800⁰C. It is believed that this fact results from the dissolution of oxygen microfluctuations that are considered to be sources of intrinsic elastic strains and thereby to lie at the basis of locally accelerated oxygen diffusion. 2000 Article Microfluctuations of oxygen impurity concentration as a reason of accelerated oxygen diffusion in silicon / V.B. Neimash, O.O. Puzenko, A.M. Kraitchinskii, M.M. Kras'ko, S.Putselyk, C. Claeys, E. Simoen // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2000. — Т. 3, № 1. — С. 11-14. — Бібліогр.: 17 назв. — англ. 1560-8034 PACS: 61.72.T, C, 66.30.L, 72.80.C, 73.61.C http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/120226 en Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language English
description Activation energy of thermal donors annealing increases from 1.7 to 2.5 eV on preliminary heat treatment of the Si crystals at 800⁰C. It is believed that this fact results from the dissolution of oxygen microfluctuations that are considered to be sources of intrinsic elastic strains and thereby to lie at the basis of locally accelerated oxygen diffusion.
format Article
author Neimash, V.B.
Puzenko, O.O.
Kraitchinskii, A.M.
Krasko, M.M.
Putselyk, S.
Claeys, C.
Simoen, E.
spellingShingle Neimash, V.B.
Puzenko, O.O.
Kraitchinskii, A.M.
Krasko, M.M.
Putselyk, S.
Claeys, C.
Simoen, E.
Microfluctuations of oxygen impurity concentration as a reason of accelerated oxygen diffusion in silicon
Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
author_facet Neimash, V.B.
Puzenko, O.O.
Kraitchinskii, A.M.
Krasko, M.M.
Putselyk, S.
Claeys, C.
Simoen, E.
author_sort Neimash, V.B.
title Microfluctuations of oxygen impurity concentration as a reason of accelerated oxygen diffusion in silicon
title_short Microfluctuations of oxygen impurity concentration as a reason of accelerated oxygen diffusion in silicon
title_full Microfluctuations of oxygen impurity concentration as a reason of accelerated oxygen diffusion in silicon
title_fullStr Microfluctuations of oxygen impurity concentration as a reason of accelerated oxygen diffusion in silicon
title_full_unstemmed Microfluctuations of oxygen impurity concentration as a reason of accelerated oxygen diffusion in silicon
title_sort microfluctuations of oxygen impurity concentration as a reason of accelerated oxygen diffusion in silicon
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
publishDate 2000
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/120226
citation_txt Microfluctuations of oxygen impurity concentration as a reason of accelerated oxygen diffusion in silicon / V.B. Neimash, O.O. Puzenko, A.M. Kraitchinskii, M.M. Kras'ko, S.Putselyk, C. Claeys, E. Simoen // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2000. — Т. 3, № 1. — С. 11-14. — Бібліогр.: 17 назв. — англ.
series Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
work_keys_str_mv AT neimashvb microfluctuationsofoxygenimpurityconcentrationasareasonofacceleratedoxygendiffusioninsilicon
AT puzenkooo microfluctuationsofoxygenimpurityconcentrationasareasonofacceleratedoxygendiffusioninsilicon
AT kraitchinskiiam microfluctuationsofoxygenimpurityconcentrationasareasonofacceleratedoxygendiffusioninsilicon
AT kraskomm microfluctuationsofoxygenimpurityconcentrationasareasonofacceleratedoxygendiffusioninsilicon
AT putselyks microfluctuationsofoxygenimpurityconcentrationasareasonofacceleratedoxygendiffusioninsilicon
AT claeysc microfluctuationsofoxygenimpurityconcentrationasareasonofacceleratedoxygendiffusioninsilicon
AT simoene microfluctuationsofoxygenimpurityconcentrationasareasonofacceleratedoxygendiffusioninsilicon
first_indexed 2025-07-08T17:29:51Z
last_indexed 2025-07-08T17:29:51Z
_version_ 1837100743765524480
fulltext 11����������� � �� ����� � ���� ������ ������ ������������ ���� ������ ������ �� ��� � ���� �� � ���� �������� ��� ����� � � ����� ! ���� � � ��"� ����"�#"� $���� %"� �"� %%&%'" ��� ����� ����� ������������� � ������� � ��� �� �� � ����� �������������� ���� � ���������������� ������������� ��� � ��������� ����� ���� ����������� ������ ��� ������� ���� ������!"#$%& ���� ���������� ��� �����'���������� ���� ������������ � �� ��� �� ������������������ ���������#�(�������� ��(� ���������������������� (���� �����!)%&�*�� ������� ����+��,����-�������.������+-.�� ����!�%������ � ��� � ������ ���� � ��� ������#�/���#�������������� ��������� � ���� ��� �� ���� �� ��� ������ � � � ���/����"� � � ������&��������('��0� ������� �������������1���� ���� � ������������ � ����������� ��������� 2�' �����(� ����� � ������� � ��� �� ��� ��������3���(������4�$&�5������3�� ��� ���������� � � �������� ���������� �� ���� ��� ��� ��������� '���3���������������!��6%&�*�� ���'������ ������� �� � �'���������� ��� ��������������� (��/���� �� ����������������� ��� ��������� ���������� � ����� ����� ����� �� ��7-�#� � � ����� ���� � ���� � ��������� �� �� ��� ��� �� ��� ����������!�8%&�*������������������� � ��� �� ��������������� ���� ������ ����#������� ���������� � � �� ���������� ������ ����&�9�����������#����� � � ����������� �������� ��� ���������������� ������ ����#������ ��������� �������7-������' ��� �#������ �������'� ��������� ������ ��� ����������'��0����� ��&�����#������ � ���'���� �� ������������7-������������ ����������& (�3��#����������������� ������0�������� ���������� � �������������� ������������������������ ���� �������� � �������������� ������������������� ���������� ����������� ����� ��/����"�������&������� � ��������������( �0�(���� ����� ����(����� ���( ��' 3��������'���� ��������' �� ����������� �����������������������'����������� ����(��� ���������� ������ '���3��� ��&�- ����������� ��#������ � ����� �������������������� ������������������� �������6�� 2� �������������� ���������������� ������ �������(�� �����������������& �� ������������ ��������������� ���/������������������������3�� ��ρ�������� ������ ��"��:";��<� => &��� �����������' ��� ����� ����� �������� �����' � ��������� ��"�×)� $��� ���� ���� ��������� �'� ���� �� �������� ��� ���� 3������ � �� 8&" ����"?&��µ #�(�����1����� ��6÷"��="�";�� �)�����@��="�"?�� �)# ��������3�� &�7������ ����� ��ρ�(������������ ���' ���� A� ����� '��� ��� �B����� ��� ��������&�-��������� �� ��� ��������� �������(�������� �������� ����ρ����� 3����� �������� �� '���� �(������� ���� �'���1����� ")���>C$D�E��&�� ������&�&�����0������� ��������� �� ������� ���� � ����� ���(�������� ������� �������������� � �*�/F�?"&;$&�#��#�??&)�&G#�;$&6�&�#�;)&?"&� ������� �� ����������������� ��� ����������������������� �������������������� �������� ��� ����� ��� ������� �������������������� !��"����#����$���������"����������$���%"���� &� �����"���'��'����� �(� �� ��� &����� %��� � �� �� ��� � ���� �� ���� ��� �������� '(�� !� �!�� ����� �� �$��)��*� +������ �� ��,�-�� .(��*�!��������� /&$��%�0��+���� /��1 �� $*��0��+���� ��� &���2�� 3'��*��� �����,��� �������� /&$��%�0��+���� /��1 �� #)��������*���3��� �� ����� � �� ���� ��� � � ��� ���������� ���������� �� � "&;� � � $&�� �E� � ����� ���� ����������� ���� ������/���� ���������6�� �&�5�����'����3���������������������������� ���� ���� ���� �� �� � ���� ��� ��������� ��� ����� ���� � ��������� � � '�� � ������ �� ��������� �������� �������� ���� �����' � � � ���� ��� ����'����� �� � ���� � ������������ � ����������� �& $��*�� �+� ����� �#� ���� ��� � � ��#� ������� �� �� � � ���#� �������������� �����& �����������3���$�&""&88H���3����� ���������������3���$�&"$&88H����������� ����'������ ����&�"&��& "$ �� ��$4%5������ �������������������+�������� �� �������������������� ��������������������� ��� ���� �#�(������ #��������� ��������� ��� ������������� �� ������������������������������ ����#���������3�� &������ �� ���� ���� �����(�������0��������� ������� ���������ρF 5���"��#�55���"?�#�555���";��<� => &�9 ��� ������ ������� �����(������������ ���(��������� ���� ��������(����� �� �� ������ �������� ���(������������&�5� ���� ������� ����� �����������I"�� �������������(������������ ������� ���� �� ���������&���������� ��������������3���(����1��� � ��÷$�� ������&����� ������ �����(���� ���������� �� �������� ������ �������������������& (��,�� ���� �� �-��� ����� � ������������������� ��� �������� ��D� �3���������� � ���������� ���������� �������� (�� ��-��&�"����� ��$�� � ���������� ���������� ���� ����#����3� ��� ������������6��� 2 �������)�� ������#���� ������ &�5����� '3� ������������� ���� �� ��������� ������ (���� (��������� �����6��� 2& ����5.��'� ���� ��'���� �� � ���������������� ��� �� � ������������ �������&�5������������� ��'������ ���������� ����������������������� ����� ��� ������ ��������� �� � � ������ ������� ���������������� &���������� ����������� ���� ����� �D� ����������(���������� �� �� ��������� 2��� ���������&�5�������������������� ������������ ���6��� 2� (������������������ ���������������������(�������������� � ������� ��������������� ���&������������������ ������ ����� '���3������!$#�"�%#������������'������������(������� �� ����������� �' �������������� ������� ���6��� 2�� � ������� ��' ��������������' 3��� ���� �� ����&�5����� �������������������������������������' ����� ���� �� ��/����" ������������&�5��������� ��� ��#�' �A�������� �B� ����� �7-������������� ��' ���������� ����������������� �� � � ������ ����������� ����� ����������������������� � �7-&�� ��� �������� ����� ������ ��� ���������'�� �� � ���'���(���������� ������ ������� ���6��� 2�������� ����� ������������ �������&�.���� #� ��� ����������� ��� � ���� ��� ���� ������/����"�������������#������ � �6��� 2������ �� ���������������� '��������������� �������� �� �����#�'��� ��� ���� �� ����'��� � � ���������� � �����������������&�5����������������������7-#����������� � ���'���� ������������������ ������� ���6��� 2�� ����� ��������������0��������'������� �������� ������������ ����&�5�����������#���������������� ��� ���������(��������� � ����� ��������� ������������� ���7-�� ����,��� ������� ���������� �����!�%&�� �����������#�'������������� � ��� � ������ �� ��������������� ����� ���#�����*������������������� ���������������������� ����������� �� ���� ������� ���� ���# �������������� ������������ ������ ������������!""%&���� � ���6��� 2���������'���� ��������� ����� ��������� �� � � ������������7-����#���� ������ #�� ����� �������� �� �� ������������� ��� ��������&������� ��#�������� ���'�� � ��������������� ��������������������0����������������� � ���6��� 2�� (����� ���������� �� ���������������� � �������& *��������� ������� � ���������� 2�����(���������� ' ��������( ��� ���������F��"�������"�� 2&�*���������� � ���������#���������� ��� ����������� �������������#�� �� ������ ������ ������ ������ ��� �� �� �� �� ��� ��� ��� ��� ��� �� ��� ������ ������������ �� ������ ������������� .����������������� �� ���� � � �� � ��������� �� �� ����� ������ ���� �� �� ��� ���� ��& ������ ������ ����� �� �� �� ��� ��� ��� ��� ��� �� �� ���� ������ ������ ������������� ��� �� �� �� ������ � ���� ���� .��� �� ������������ �� ���� � � �� � � ��� �� ����� ������� ������ ���� �� �� ��� ���� ��& �������������������+�������� �� �������������������� ��������������������� ")�� ��$4%5������ ��� �� �� �����0����� ������������0��������&� (�3��# �������3������� ���������������� ������������������ ������� �������������������� �������������&������� ��#�������� �� ��'���� ���������������� ����'��� �����0�������� ����������� �� ��� ��������� �����������0������������������������ ���&�*�������� ���#������������ ������ ���� � ���� �� �������� �� �������������� ������"�� ������� (�����-��& )F�(��� �������� ����������������� ��6��&������� � �����������(��� '������� � ����������������"�� 2&� 5� -��&�)�� ������ ����� ���� ������ �������� ���#�� ������ ���������� ����� ����� �� ���������� �� ��� ��' ��� ��� �������������� �� ������0������4�6������� Dτ�&�J�� �������3������ ��' ���τ������ ������������ (�������& 5����� '3� ������������������ �������(����������'���' ������ ����&�5����0�����������������(��3���� ����&�5����� '��������� ������������������� �����6��� ��� �������'� �� (��� (�������� ����� ������������������������"� �����"�� 2&�*��(��� ��0����' 3�#������������������� � 3�������� ������ ��������� ���� ���� ��3��(��' �������� ����� ���������� ��� � ��� �� ����������� ��� ��������� �� �� �� � ���� � ��������� ��&� ����� ��#� ��������� � ��� � ������ � ����������������'��� �� �� � ���� (� ���� � � ����� ���� � � �� �6��� 2�� �������� ��� �� ��� � ���� ���������'��� �� �������������(���&�5� �����( ���#� ��� ��������� ���������#�� � ���������3�� ��� ������������6��� 2��� �����#����� ������&�*������� ����#��������������������� ����������������� ��� �������� �' ������������������������������������������� ������������� ���������� �������������������������������������������(���& .���� #���������3��� ������� ��7����������1��������� ��ν �����������#������ �����' ���� �� ����������� �� ��� ������������"�������"�� 2#����� ������������������� ����� ����� 6��� 2&�- �� 3��� ��� �� ���� �� �� ����F ���4"&?�÷"&66� �E#�ν�4�?&)="�6÷$&)="�;� ��"�(��� ��� ��� � ���������4�$&)÷$&�;� �E#�ν 4�"&6="�""÷$&�="�"$� ��" ����������� ��6��&������������(���������� ��3������ � ���������� ������������� �� ���� ��� �F�7��4�I��&����E ����∆ν 4�I���K�������������� �����������' ���������' ��� ����� ���� ������������� �����������'��(������ '��� ������'��� �� ����� ���3��� ��� ��������� �&������ �� (� ��������������� ��' �����&�*��������� ������� ��������� �����������' ����� ������ ������ �����(��������� ����� '�� ��� ��������"� ����������'��(���� ����������� '�� �� �������������������� ��������� �� �� � �������������� �� ����� ��� ��������������$��K&������������� �� ������� ����������� ��� ��"$��� ����������� ����������������� ���� �� �����������������3��� ������� ��������1��������� � �� ������������ ����������������� ��6��&�/���� ��� ����������� ��� ���'���� ���������' �������� �� ��� ����� ����� �� ��/����"������������������� �&�5��(������ �#����� ����������������7-��� ���#�������� ����������������� ������ ���� ���'���� ���������' �������������� �� ������� ����������������(����������������' �' ��������7-���� �����������������&������� ��������� ����(�����������!""% (��������������� ������ ���� ��� ���������������� ����� ��������� ����������(������ ��������/�& 5����� �������(��������+-.� ���#�������� �� �� � � ������ ��������� �������� ���� ������' ���� � ��� ����� ������������ ������� ���������&� ����#������������ � 7��������������������� ��� ����� ���� �� � ����������� �& ������������������ ��7������������� ��6��� ��������� ������� �� �� � �����������3������ � ������ � � ������� ������������������� &�5������'���������' �������� �� � � ������������������� ������ ��������������������� ��������� (����� ����������� �� �� � ���� ��� ��������� �������� � ����� ������� ��6��&�*������ ����'��������� ��������# 7��4�$&)÷$&�;��E�� ��A�� (���� (�B������������� ��6��� ������� �#����������� ���� ���3����� ������3��� ������� �� � ������� �� ������������ � ����!"$�%&�5�����������(��� �� ����� ��6���(����3��7��4"&?�÷"&66��E&�5��� ����� ��� � �����3��� ������� � ������������������ �� !")%#���� � �������������� �� ��(������������� ��� ���' ���A��� ���������B�������� �� �� � ����(�����3 �3���!")%&�9���� '����� �� '��������������#�������� ���'���� ����� ������ ������������������� �� �� � ������������������� �� ����� ���������������� �� �� ���� ����� �� �� � ����(���� ���� ������� ��� ��������� ������ �� �� �� ����� ������ ��� ��������� ���(��������� � ����� ��������� �&������ ��������� ���� � ����� ���� ����������� ��������":$�K !8%&� (�3��#�������1������� ����� ����������� �� ������ ������ ���������� �� �������������������������������&�-� ����� ���� ��3��(� ����������� ����(������������ ���1���� ������3�� � '������������� �������������& J (�(����������� �����"�� 2����������� ���������� ��������� �����(�������3���������� ��6��&�*�������� ���������������(������������������������������/����� � ������������"�� 2��� ������ ���� �' � ����� ������������ � ����� �������������� ��������,�� �� � ������������������� ������ ������ ������ ������ ������ �� �� �� �� �� �� �� � �� ���� ������ ���������� �� �� ������������� ��� ���������������� �� � ���� � .���(�� ������������ �� ���� � � ��� ��� ���������� �� ��������� �� ������"�� ��& "� �� ��$4%5������ �������������������+�������� �� �������������������� ��������������������� ����� ��������� 2� ��� ����� �������������� ��,�� ��������� � � ����������� ������"�� 2�!"��%& +�������� ��������������������������� �� ��� �� ����� ������ ���� ������'��(�������� (� τ � � �� −= LL�"� ( )�8�� D��� " −=ν τ �$� (������������������ ��������� ����� ���� ���� �� & 5��������� ������������ ������ ���� � ���' �(� � � ���� ����� �#����� � ������ � ���� 3�� ��� ��� � ���������∆9��� �(��������� ����� ��'����������������& - ������#������� � ���� �0���∆9D� ��$�������� ��M� ��# (������ � ��� �����������'��(���������' ��� ������������� �N���Å�&����� ( )$D " �9 � � �� ∆ −= τ �)� ���� '��������� ������� ����3����� ��τ�4�τ��������� � �����3���� �� 3���� ������ � ������ � ������������� � ∆9&�5������'������� ���� τ9:9 =∆ # ��� (�����:9����������� ������ �� ������������ � ���&�G��O� ���������� ��∆9�� ������������3������ ��:9��������� �(��� '�������' � 3��� ��� ���� ��F� � ��:9�4� �&�8=�����$&� �ED�8��!�"��%����(��� '�����������"��2F�∆;�4�)��Å&�- ��:9 4��&�;=������ $&��� �ED�8�� !"?%#�∆9�4�$"�Å&�- ��:9�4 4��&�$=�����$&�$��ED�8��!"�%#�∆9�4�")�Å&�- ��:9�4��&";× ×�����$&����ED�8��!";%#�∆9�4�"?�Å&�5������������� ������ �������#�������������������� ������ ���� � �������'��� �� ������������� ����� �� ��/���� � �����(���� � �� (��� ������� �� ������ �� �� � ������ � ������������� ��� � ������� ����� � ��� ����������� ��'��(���������� ���� ����/����"�����& J (�(������������ ��� ��������� ������������ �� ��� ������� ��� �� �����(�������3��� ���������� ��6��& *������ �������!")%#�����3��� ������� ���� ���� ����� � ����������� ����� ������1����� �"&;��I"��E&������� � 3����� ��7����� '�������' ������ ������� ���� �������� ����������(��� ���� �&������1����� � ������3��� ������� 3������� ��' ����������� ������������������ �������� �� ���� ����� �����+-.� ���#����(������������������� � ���� ���� � ������������ ����� ������������������������ � ���������������� ��� �����' � � ����������� �����(������ �� ����� �� ������ �������� �&� G��O�� (����� � (�� � ���� ��������(�������� � ����������� ������ ��:9�4�?&$?="� �)× ×������"&6�ED�8����� '��������� ������� ���� ��������� ������������ �����!"�%&�/�'������������������ ���������� ���� ������3����� ��τ�#�(�������3��∆;�4�;)��Å&����������� ����� ����� � ��� ����������(��������� �������������������� �8� ���<�4��"� �2�� �� ����� ������� ��� �� '�'� � ������ ��� ��������� �� �� � ����� ��������� �� ����������� � ���� ���� � ���(�������3��������,����' ������������ � Å�����ö ������� ����� ��������� �#�� �������'� �������� ���������3������� ��& ����#� ����1���������3������ ���� �� '�������������� �����������������������������3 ��� ���������� ��� �� ����� �������� �� �� � ���� ������� �� ������� �����7-���� ��� ��������� �� ���� ���� � ��&���������� �� � ��� �� �#�'�������������7-#�� ���� �����������3��������� �������� �������� ����� ���#������� ���������3������� � ���������������������� �� �� � ����' �������� ��� ����� � ��������& ������������������ ���� �� �������� ��� �� � ���� ���& (�3��#���� ��� ���� �#������������������� ������� �� (��� � ������ ��F "��7��� ��������� ��� �� � ����� ��������� ��(��� ��,����' ���;���Å���� �� ��� �������������������� ����� �� �������������/�& $��9 ����������� ���������������� ���������#�� � ��������� ��� ��������� ���������� ��� ����,��� �� � �������� � ���� ��� ��������� �#������ �������'� ������������' ����������� �� �� � ����������� ���� ������� �� �������� ��� � ��� ��� �� ��� ���� ������ ��� ��������� ��' ��������������������7-& =��������� "& � �&/&� -�����#� P&*&����,��'���#�J&9&� ���� #� Q&� 9������� DD ����"=�+"#� /0#� 6))� �"8���& $& E&7&� 9�'���#� 7&5&� 9����0��#� Q&-&� E�����&� 9�1��� � � � ���� ���� �� � � � �#� AJ��0 3���� 0�B#�+ �3#� �&� $)8# �"88;�& )& G&5&�7����#�E&�&�7��0�3���#� ��� �� �&� 5��&�� ��&� ���� ���� ����8���� � 1�� ��:���� �- � � �� �� ��� � ���� ��#� Q�&�+& /� �� � �J ���� �����#�* ������ #� "88��� �&� "8�& �& R&�+��,��#� &� -�����#� &�.����� DD�����"=�+&#� �� #� �&� "��? �"8�6�& �& �&7&�+�'�����#�E&9&�J�� ���#�E&7&��� ��O#�E&�&� /�� � DD ���� � �������"� > ���&#�12#� �&� $"6� �"88��& ?& �&7&�+�'�����#�E&9&�J�� ���#�E&7&�� ��O#�E&5&�/��0� 3�� 3# *&E&� 9�������#� E&E&� E � �0 3#� S&5&� E � �0 3�#� E&�& +�������0��� DD����� � �������"� > ���"#�(3#� �&� )�� �"88)�& ;& �&7&�+�'�����#�E&9&�J�� ���#�E&7&��� ��O#�G&5&� /������� DD ���� � �������"� > ���"#� 12#� �&� "�;8� �"88��& 6& J&�&�9�����3#�J&*&�E�� 3�0��#�G&/&�E�����0 #��&E&�7��� 3��� DD�? @"�8���"�� ��!� +"#��4#� �&� "8;8� �"86)�& 8& �&5&�9���0�3���#�E&�&�7��0�3���#�G&5&�7����#�E&E&� ���� 3� DD ? @"� 8���"�� ��!� +"#� 0#� �&� ?6$� �"88$�& "�& E&�&�7��0�3���#�G&5�7����� DD�����"�� � "� � � � "#�#���#�+"�8 �"868�& ""& G&*&�+�,�0�3���#� �&-&� G���0 3� DD����� � ������ ���� ��" ��� ��A�,� �� ���"#�/#� �&� ";�� �"86$�& "$& S&�&�R��0���#�P&R&�� �'���#�.&/&�7�� �����DD�>"��!!�"�����"# 5(#� �&� ;�8;� �"86$�& ")& G&5&�7����#� E&�&�7��0�3���� DD�? @"� 8���"� � ��!� +"#� #� �& ")$�� �"866�& "�& .&�&�J�( ��#�7&P&� 9����#� -&7&�G�3����� �#� /&�7��� � ��� DD����� ��"#� ��0�#� �&� $?�� �"86)�& "�& T&� ��0�� #�7&�7�0�#� ��F� ��� � ���� �� � � � �#� "8;)#� Q��& &.&� ���� ����.&.&� 9������#� ���� ������ ��� ����� / ���� # �������� �#� "8;)#� �&� �?8& "?& � P&�&�7�00������ P�&� DD��!!�"�����"�0� "#�12#� �&� ))?� �"86$�& ";& 7&� /��3 ��#� P&.&� �����#� G&�&� +� ������#� �&Q&� -�������� DD �!!�"����"0� "#� 1 #� �&� ;)� �"86)�&