Thermoelastic stresses and defect production in semiconductor-insulator structures at isothermic heating

For semiconductor structure substrates with film coating disturbances we investigated thermoelastic stresses and their effect on defect production at isothermic heating. A developed mathematical model enables one to optimize the formation and annealing conditions for structures with film coating dis...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Datum:2000
Hauptverfasser: Agueev, O.A., Svetlichnyi, A.M.
Format: Artikel
Sprache:English
Veröffentlicht: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2000
Schriftenreihe:Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
Online Zugang:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/121167
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Thermoelastic stresses and defect production in semiconductor-insulator structures at isothermic heating / O.A. Agueev, A.M. Svetlichnyi // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2000. — Т. 3, № 3. — С. 338-342. — Бібліогр.: 12 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-121167
record_format dspace
spelling irk-123456789-1211672017-06-14T03:03:49Z Thermoelastic stresses and defect production in semiconductor-insulator structures at isothermic heating Agueev, O.A. Svetlichnyi, A.M. For semiconductor structure substrates with film coating disturbances we investigated thermoelastic stresses and their effect on defect production at isothermic heating. A developed mathematical model enables one to optimize the formation and annealing conditions for structures with film coating disturbances during annealing when manufacturing integrated microcircuits. 2000 Article Thermoelastic stresses and defect production in semiconductor-insulator structures at isothermic heating / O.A. Agueev, A.M. Svetlichnyi // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2000. — Т. 3, № 3. — С. 338-342. — Бібліогр.: 12 назв. — англ. 1560-8034 PACS: 61.72.H, 73.40.Q http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/121167 en Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language English
description For semiconductor structure substrates with film coating disturbances we investigated thermoelastic stresses and their effect on defect production at isothermic heating. A developed mathematical model enables one to optimize the formation and annealing conditions for structures with film coating disturbances during annealing when manufacturing integrated microcircuits.
format Article
author Agueev, O.A.
Svetlichnyi, A.M.
spellingShingle Agueev, O.A.
Svetlichnyi, A.M.
Thermoelastic stresses and defect production in semiconductor-insulator structures at isothermic heating
Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
author_facet Agueev, O.A.
Svetlichnyi, A.M.
author_sort Agueev, O.A.
title Thermoelastic stresses and defect production in semiconductor-insulator structures at isothermic heating
title_short Thermoelastic stresses and defect production in semiconductor-insulator structures at isothermic heating
title_full Thermoelastic stresses and defect production in semiconductor-insulator structures at isothermic heating
title_fullStr Thermoelastic stresses and defect production in semiconductor-insulator structures at isothermic heating
title_full_unstemmed Thermoelastic stresses and defect production in semiconductor-insulator structures at isothermic heating
title_sort thermoelastic stresses and defect production in semiconductor-insulator structures at isothermic heating
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
publishDate 2000
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/121167
citation_txt Thermoelastic stresses and defect production in semiconductor-insulator structures at isothermic heating / O.A. Agueev, A.M. Svetlichnyi // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2000. — Т. 3, № 3. — С. 338-342. — Бібліогр.: 12 назв. — англ.
series Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics
work_keys_str_mv AT agueevoa thermoelasticstressesanddefectproductioninsemiconductorinsulatorstructuresatisothermicheating
AT svetlichnyiam thermoelasticstressesanddefectproductioninsemiconductorinsulatorstructuresatisothermicheating
first_indexed 2025-07-08T19:19:28Z
last_indexed 2025-07-08T19:19:28Z
_version_ 1837107641280626688
fulltext �������� � ��� � �������� � �� �� � ���� ������� �� �� ����� �������� ������ ��� ��� �� ��� �� ��� �!�� "�������#�� � ���$��������� � ��� ���������� ������%��������$�����������$�&'�������� ��� ����� ����� ������� ������ �������������� ������������� ������ �� � ������� �� ������� ���� �� ���������� ���� �������������� ������ ����� � ��� �������� � �� ��������������� �� ���� ��� ���������� ���� �� �� �� ���� ����������������� ����������� ���� �� ���� ���� �������������� ���������� ��� ������ �� ���������������������� ���� ������� ��� ��� ���� ��� �� ���������� �������� ������������� �� ��!����� �� ������ ����������� ��������� ��� �� �� � ����� �"��� ��� ��� �� � ��� ���� �� �� �� ������ ���� �� �� �� � ���!� ����� �� ���������� ���� ����� ��� ��� ��� ����� ����� ���"���������� ������� ���� �� � � �������� �� �� ���� ��� ����� ������� �������� ���� ��� �� ��#������ �� �� ���� ������� �� �� ��������� ���� ��� �� ����������"��� ���� ����� ��������� ��������� � ��$����% ������� ���� ����� ���� ������&⋅'('(� ��'�)⋅'('&�� ��*��&�� ��+�� ��% �� ����ν������� ��������� ������ ������ ,������� ��������� ���� ������������"��� �����α(������� ������� ,����(�-⋅'(�. ����/�&⋅'(�.�0�'� # ����������� ������� �� � ������������ �� ������ �� ����������� ���� � ��� ��� ��# � ������� ��� � ��� ������������������ ���� �������� �� ��������� �������� ��� ��� �,����� ������ ������� ������ ������� ���� �� ��� ��� ��# � �� �, � ��������� ����� ��� ���� ���� ��� ������� �������� �� � ���� ����� ��� ��� �� ��� ��������������� �� ������� ���� ���� �� ����������� ��������������� ������������ ������1'�/2��# ����� �� ���� � �� � � � �� � � �� �� ���� ������ ���������� �� � � ������� �, ��� �� �� ������������������� ������ �� � ������������ ���� �������� ��������� � ������� �1-��2� 3 �������������� ����� �� �,��4��������5�� ����,� �������������� ��� ������������� ���������� � �� �� ����������� ������������� ������� ������� �� ���������� ��� �� �� ���� ��� �������� ��� ���� �������� ��������� ��� ��� ��� ������������ ������� ���������� ������ � �������� ����������� ��� ��� ��� �� ��� 6� �� ���� ����� ������� ��� �������� �� ����� �� ���� ������������ ����� ��� ��� ��# �� �� ������������ ����� ����� ��������,� � �������,�����"��� ���7 σ��8�σ�� �9�σ �� ::�'� ;����σ�� �� � �� �� � � ���������������������� ������ � ��� ��������� � ������������ � ������������� �������� �� ��� �<�σ �� � �� ������� ��� �� � � �������������� ���� �� � ��� ��� ��� �� ��� ��������� � ������������� �� ���� �� � ������ ����� # �� �� � � ������� ������������������ ����� ��� �� ���� ���� ������ ������� ���� �� �� ��=���� ��� ������ ��������� �,����� ���� ������� ��������� ��� ��>������ ���������?��&����� ����������� ���� �������"��� ������ ������� �� �� ��� �� �� � ������ ��� ���� ���� � � ����� ������������� �� ���� ����������� �� �� ���� �� ��������� �������������∆(�8�(��@�($��� ,���� �� �� ������ �����(����������������� ���� ������ �����($���� ����� ���� ����� ,���� �������������� ����?��&����� ���� ���� � � � ����� ���,� ��" �����γ��γ�8�/*A�1A2������ � �� ����������� ��� �� �� �� �����������?��&����� �� ��� �������,�����"��� ����1A27 +!�?7�.'�)&�;��)��/(�B ������������������������� � ��������� ����������������� �������� ��������� �� ������� ������������������ ������� ���� �� ����������������� (�)����)� � � �� *����� ��)�������)� &��+���� ��� !!� ��'����+�'��� ������ ,� -.%�� (�)����)�� *�� �+� *�)����� * ���� (���/� 0�1� !!2� 1 -1 --�� � ����/� �+� ����3 � ���� � ��������>��� ��������� ��� ��� ���� �� �� � �,� � ����� ��� ������ ������� �,�� ���� �� �� ��� ������� ��� �� � � ���� ���� ����� � �������� � ������ ���� � � � � ������ �� �����! ������������ ��� ����������� ������ ����� ���� ������ �� ����� ������������������ ������ ��� � ���� ��� ��� �,� � ����� ��� ���� �� ������� � ������� ����������, ���������� ����� �� ���� �������������� � !��"�� �#� ��������� ��� �� �� � ���������� ��� ��� � ������ �� ����� ������� ��� �� � � ����� � ������ ����� �� ���� ��� � +��������������(��'&�AA<����� ������� ���� ����������(��(-�((<������ �������������� �����(�(.�((� ������� ���$�����������������#�������������������������� � ��������� ������������ ��A������0�2������ #��� ��� �� ��σ �������������� �� �� ���"��� ��� ���������1&27 & & ' ��� ��� �( � ( ν ασ − = ∆ ::��� ;����∆α(� � � ��������������� ,���� ������������ ��� ��������"��� �������� ����������� �� �� �� # �������� �� � ������� ���� ����������� ������ � ����� ��4�� ��# �� �� � ���� �� �� �� ������ �� ��� �������� ����� � � ����� ��������� ����� � ����� ����1&�/2� ���� � ��� �� �� �4���� �������� � � � ������� �� � ���������� ��� ��� ������4��4 ��5�� ��������� �������� ��� ������ ������� ������ ���������� ��� ��� � ������ �� �� ������� �� �� ���# � ������� �� � � �� �� ���� �"����� �� � ���� ������������������ ������������� ������ ����������� ������ ������� ���� ��������� �1&�/2� C��� �� �� ��������������� ���� �� �� ������ ��� �� �� ����������� � ������ ��� ����# ������������� � � � ��4�������� �� ��� ��� �, ���������������� �������� �� ��� �������� �������� ��� ��� �� ������� ������������� ��� �� �� �� ������������������ ��� ��������1&2��� � � ,���������� 7�$������� ��������� �� �� �� �� ������� ���� ������� ���������� � �� �� �� �� �� ��������1'���2� # ��������� ��� ������ ������������� �������,�����"� ��� ��� �1'27 $�8�σ�⋅� ψ�8�α⋅$ $ $ � σ α ⋅ = � � ;�����$�� �$����% ������� ���� ������� 6� �� ���� ������� �� ������� �� ���� ���>����'���� �� �� ��������� �� ��������� ��� �� �� ��,� ������ ��� �� ������������, ���� ����� ����� ���������6� �4��������"� �������� ��������� �� �� �� �� ��������5��"� �������� �� ��� �� �� �� �� �����4������6���� ��,�� ���� ������ ����������� ������ �� �� �� ��� ����� �����σ��������� � �����������# ��������������������� ��$�����ψ����� ����� ���� �,� � � ����������# �������� �� ������������� ����� �� �� �� ��� ������� ������<� �� �� � �� ������� ����� ������ ������, 7 ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( )54 54 4$ 54 54 54 5$ 54 54 54 4$ 54 54 55 44 α π σ α π σ α π σ +⋅ + ⋅−= +⋅ + ⋅−= +⋅ + ⋅−= &&& &&& & &&& & && & & , , , ::�/� >�������� ������� ��� ���� �������� �� �� �������� ������������������ �� ���� ������������������������ � ���� ���� ��������� ���� � ��� ����� �������������� � � ���������������� ���� ���� ��� ����������# ��� �� ���� ������� �� ������>����'�� ���������� �� � �� �������� �� ����!��������� �������������&�������� �� � �� ������ �� �� �� � �,�����>����&����� � ��� �������� ������� �� ���� ���� ������� �� �� � �� ����������� ������� � ������ �� �� ���,� �����,�������������� � �� ���������5���� ������� �� �� ��� ���� ���"��� ��� ���������1&27 ( ) ( )[ ] ( )[ ] ( )[ ]{ } ( )[ ] ( )[ ] ( )[ ]{ } ∑ −=                 +−+⋅− −−+⋅−⋅−+⋅− − − ++⋅− ++⋅−⋅+⋅− × ×−= � �� 44 56�6�4 56�6�46�6�4 5�6�4 5�6�4�6�4 $ 54 &&& & &&& & & & α α π σ , [ ] ��'��D��'��'�D ��'�D��'��D��'��'�D��&�' ?�?�?��?�� ?�?�?�?�?�?��?��?�� �� && &&& νγν νανγανγ σ // /// + +∆ = ( �&� � � � � � �� �� ��� �� � � � %���� ��!� �������� ���������� � ��� �� � ������ �� �� � � � � � �� � � �� ������ �� %���� ���!� ��������� ��� �� �� �� ������� �&��,� � ��� �� ��� �� ������� �������� �'�� �/( ������0�2������ ������� ���$�����������������#�������������������������� � ��������� ������������ ( ) ( ) ( )[ ]{ } ( ) ( )[ ]{ } ∑ −=               +−+⋅− −−+⋅−− − ++⋅− ++⋅− −= � �� 55 56�6�4 56�6�4 5�6�4 5�6�4 5 $ 54 &&& &&& & & & α α π σ , ( ) ( )[ ] ( )[ ] ( )[ ]{ } ( )[ ] ( )[ ] ( )[ ]{ } ∑ −=                 +−+⋅− −−+⋅−⋅−+⋅− − − ++⋅− ++⋅−⋅+⋅− × ×−= � �� 54 56�6�4 56�6�46�6�4 5�6�4 5�6�4�6�4 5 $ 54 &&& &&& & & α α π σ , ::�-� &��'������ ��� ������ ��� � ������ � �� �4��,�� � � ��� ������� �������� ���� ��� �� ��� ��������� ��� �������� �� �������� � �������# � ��� � ��� � � ������������������� ���� ������� �������� ����������� �������������� �� �,� ��������� ���������� �� ���� ���� ���� ���� �������� � ���� ���� ��� ��� � E'''F��� �������� �������� �������������� ��� ��� � G''(H������ ��� ��#���� ������� ������� ���� �� � ��� ����� ������� ������� �� ��� �� ������ � � ������� � �� �� ���� ���� �� � ��τ� +�� ���������� ����������������� � ���� ���� ��� ������ ��������� �, ��� ���� �� ���� ���� �� � ��"� ����� ������� ������������σ���� �, �� ���� ����������� ��������� � �����������# � ���� ����������������� ��� ������ ���������� ��������������� �������,�����"� ��� ���7 ( )     = �'( & 7( � � exp ' εσ ::�.� ;����7�������������� �� <�&�1�I2�� � ����� ����������� ��������� <�ε�1 �'2�� � ��������� ������ �<�'�8�.��-⋅'(�- 1�I*02�� � ��J�� ��������� �� �1&2� !� ����� ����� ������� ������� ������� ������� ����� �� �� ���������� � ���� ����� ,���� �����σ���τ*σ���������� � ����� ��� ���� ������� ���4��5���������� � ������������� ������� �������� �,� �τ*σ��H�'�, ������ ���� ��� ���� ����������# ����� � ������ ���� ��� ������������������� �� �� �� ���������, ����τ*σ��H�'�� �����"� ������� � �� �� ���� ���� �� � ���� ����� ��� ���� � ������� � �����,�����=�� ������������1'(27                           − − + − ⋅= τ τ τ τ σ τ ��� ��� �% �% �%�% %8 9 ' ' & ( ( & ln � ::�)� ;����,�� � �� ���������� <�9�� � ��J����� ���� ��<��(�� ����� ������ ���� ������� � ���� ���� ��<�8�8��⋅'(�) � ��*���� ���� �� <�%�8�,9*�� # � ��� ���� ���������� ��� �������������"��� � ��� ��'��@��)������������� ��� �� ������� ���� �� � ��� � ��� � ��� ����� � ������ ���� ��� ��� ��� �� � �,���� � �� ������ ������� ����������������������� ��� ����� � ��� ��� �,� ��������� ������ ������� � (����������� ��������� � ��� �� ��� #������ �� ����� �� ���� ������� ������� �� �� ��,� �?��& �� ����, � �� ��4�� ���� �'�µ������������� ���� ����� �"��� ����� ��� ������ ����($�8�''((�K�� L ���� ������� ���� ��� ������� �������������� �� ����� ����������� ����������"������������� ��#�����'���� ���"��� ��� ��'��@���������������� ���� � �� �(��8��((�K� �∆(�8��((�K��� �� �� � ���� ��?��&����������� ������, 7 σ�� � 8� �� &�'⋅'(A� � ��*��&<�σ �8� &�--⋅'(A� � ��*��&< σ��8�/�-⋅'(��� ��*��&����� � ��� �� ���� ���� ������� � �� ����������� �σ44��σ55�����σ54����� �� �� ���� ��� �� ���� �� ��������� �������� �� � �� ������� �� �� �>����'���� ����������� ���� �����"��� �����-���� ����� � � �,�����>�������# ��������� ��� �,����������������� ���������,� �6�9���8�'�(�µ���6�8���8�A(�µ������ �� ��� �6�9���*/(�8�/�-�µ�����8�-� !������ � ���� ���� �� ����������� ��� ��������� � � � ������� �� �������,� � �������������� ��� � �� ������1&�/2������� 7 M �� �� � �� ����������� ����������� �� ������� ���������� ���������� ������ �������< M ���� ���� ������� �� �� � �� ����������� �� �� ������)������������������������������������������������������������� �� ���������������������*�+� N� ����� !������ ��� $����% ������� +�� ��% ��� ���ν ���������� ���������� :��� ��*��& �"��� ����α(��'( �.�0�' ?� �� �� � '�)⋅'('& (�&) /�& !� ������ ��� ��� � .�-⋅'('' (��- &�- ��������� ���� ?��& �� ��� ������� ���� ��� �� : (�)&⋅'('& (�') (�- :?��O/ �� ��� ������� 4������ �� (�&⋅'('' �� &�&-�&�A ������� ���$�����������������#�������������������������� � ��������� ������������ �/'������0�2������ ��� �������� � ���������� ���� ���� � ��������� ���������� ������ �������< M �� �� � �� ����������� ������ �� ���� ����� ���������� ���������� ������ �������� ��� ��?��&������������ ���������,� � ��G''(H����� �� �� � ���'''������� ���?�� �� �� ��� ��� ���� �� ��� ���� �� ��� ������ ������������� �������,�����"� ��� ����1''27 545544 σσστ � � & +−= ::��� >��� �� �� ����� ��� ������ �� � �� � ������ �� �� �>����'�� ��������� ����,� � ���������"��� ������� �� � ���� ���� �� ��� ���� ������� ��?�� �� �� ��� ����� �� ������>����/���������������� ������, ���� ���� ����� ������� ������� ������� ������� ������� � �,�����>����-� 3 ���������� ���� ����� ����� �� �������σ��� �������,� ���������� �������� �,����� ��7�7�8�/�-⋅'(-�1� ��*��&2� ��8�&�A��&�8�&���1�I2��ε�8�A⋅'(�-�1 �'2� !������ � ���� ���� ���� ������� ������� �������� ������� �������������� � � �������� ����� ������� �� ��� ��� ������ ��� ����� ��� ��������� � �� �����"� �� �� �� �������� �, ���� ���� �� ���� ���� �� � �"����� ����� ���������������� ���� ���� ��� ������������� �����# � �������� ���������� ��?�� �� �� �� ������� � � �����������?��&��?�� ��������� ����� ������������ � � �"������� ����� �� �1'&2��!��������� �� �����"�������� ������ �� ����� ����� �� ���� �� �� �� ��� �-(�'((�P� # � �� ����� �� ���������� �����������4 ����� ��,������,� ���� ���� ����������� � !��� ��� ��������� ���� ������� � ������� �����"��� � �����)������ ������8�/�'/⋅'(.����&��3 �������������� � � ��� �����τ�,� � �4��� ���=����τ��"�������� ����"���� ��������� ���� �� ���� ���� �� � ���9�8�&�)⋅'(������ �(�8�'( &����&� ����� ���� # ����� �� ����� ��� ����������������� ����� �������� �� �� �� ������� ��� �� ��� ���� ������� �� ������� ��� ����� ��� ��� ��� ��� ��# ���� � ������� ������ ,���� ���� ���� ������ ���������� ����� ����� �� ������� �� ��� ����� �������� �� ������� ���� �� � ��� ��� �������� ������� ������� �� ��������� ��� �� �� � ��# � � � � 0 0 0 0 0 0 �� �� �� �� �� �� �� �� ������ ��� �µ ��� �µ ��� �µ ��� �µ %����&��C� ���� ������� �� �� � �� ����������� � 1� ��*��&2� �� �� �� �� ��,� � ��� ������ �� � �� � ������ �� ��� � �,�� �� >����&�7���@�σ44<���@�σ55<���@�σ45� �� �� ������� ��� �µ ��� �µ %����(��C� ���� ������� ���� �� ���� ���� �� � � 1� ��*��&2� ��� � �� �� ��,� ���������� �� � �� ������� �� ��� � �,�� ���>����'�� �� �� ������� ��� �µ ��� �µ %����,��C� ���� ������� ������� ������� ������� ��������� �� �� �� � ,� ���� ������ �� � �� � ������ �� ��� � �,�� ���>���� '�� �/& ������0�2������ ������� ���$�����������������#�������������������������� � ��������� ������������ ����� ����������� ����� ��������� ����� ������� �� �� ��� ��� ������ ��� � ��������� ������� ������� �� ��� ��� �� �� � ��� �,����� �� ������ ��������������� ���� ��� ��� ��� � *�$������� '� O�+��Q�4 ������!�I��J���� �� ����;���������� �������� ��� #� �)�� ��� � � � �����R����� �� ?� ��%��N� ��,� �'AA&�� &� ?�N��;��� ? �� ����� ��� �������� ��� ������� �� ����� � **� <� %����� �����-.�� ���R-�� �'AA'�� �� S�� I�� ������� �� ?�� !������4"�� >����������������� �� ��� �� ���������� ���� ��� ������� �� �� � � **�<�� %����� �����/��� �� &')(� �'A�)�� /� ?���� S�����;�D��N�� ��0�� +�������� ���C��3����� ? �� � � ��� ���� � ��� �� ������ �� � ��� ���� �� =��� ���,��� �� =���� ����� ������ �� �� � ����?�� �� ����� �**�<��%����� �����-0� ��� �'/-� �'AA.�� -� C�!��?�� ������!�N��?�� ��� � ��� ?���� ?����%������!��!����� D���� ���� �� ���� �� ����� �� ������ �� � ������������ ���� �������,����� � � ������ ���������� **�=�5�� 8����� �9��9�� ;� ��� T�-�� ��� /.� �'AA&�� .� C�!�� ?�� ������!�N��?�� ��� � �����!��!������!�U��0����� ?����� ������� ������ ���� ����� � ��� ��������� ��� ��� ��� � � ������ �� � ���������� **�=�5�� 8����� �9��9�� ;� ����T�&�� �� ��� �'AA/�� )� C�!�� ?�� ������ !�N�� ?�� ��� � ��� !�U�� U��� ��� ?��� ?����%������!��!������ ?����� ���� ��� ��������� ��� ���� ��� � �� ����,� � �� ��� ����� ���� **�=�5��8������9��9��;� ��� T�&�� ��� '(A� �'AA-�� �� C�!�� ?�� ������!�N�� ?�� ��� � ��� ��!��!������ #������� ���� ���� �� ��� ���� ��� � ��� ��?#N� ��� ���������� ����� �� ������� **� #5+�� ���� � 5�+�� ���' ����'��T���� ��� -&� �'AA��� A� ;����6���� ?�+��N����4���D�� ��� ���� �� ����� ��� ���� � � �� �� � ��� ��� ���� � **�<�� %����� �����- �� ��� �/-�� �'AA&�� '(� +��;�� ����C� ���� ���� � ����� � ��� �� �������� ��� ���� ���>������ ���� >��������� D� ��!�R��R� �����������#��;� �� !�6�� J���� ��R���� S������ ��� )('��N�U��,�;���� J��4����� ��� � �'A.)�� ''� V��>� � ����������� ������� �� ���� �� � ��� �'''������� �(('� ��������� ��� �� �� � �,� � ����� ���� � **�?��� ��� *���� � (�������� .�� ��� .-� �'A�-�� '&� N�0 ��? �� ������I�+��!��4 ����D���� � ��� ���������� � ��� ������� ����� ���� ��� ��� ��� ������� ���� ��� �� �� � �!� ��� ���,�� **�=�5�� 8������9��9��;� ����T�'�� ��� .'� �'A).��