Plasma activated eb-deposition: different modes of arc discharge and plasma characteristics
The results of experimental study of the operating parameters of a non-self-sustaining arc discharge in the process of electron-beam evaporation of a cathode are presented in the paper. The conditions of ignition and burning of the arc discharge were studied. The plasma parameters, ion current on th...
Gespeichert in:
| Datum: | 2017 |
|---|---|
| 1. Verfasser: | |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2017
|
| Schriftenreihe: | Вопросы атомной науки и техники |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/136155 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Plasma activated eb-deposition: different modes of arc discharge and plasma characteristics / V. Safonov // Вопросы атомной науки и техники. — 2017. — № 5. — С. 65-72. — Бібліогр.: 25 назв. — англ. |