Фотоелектричні властивості приймачів випромінювання, виготовлених на іонно травлених поверхнях кремнію

Досліджено вплив іонного травлення поверхонь пластин кремнію на основні параметри фотодіодів, виготовлених на цих поверхнях.

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Datum:2009
Hauptverfasser: Житарюк, В.Г., Годованюк, В.М., Докторович, І.В.
Format: Artikel
Sprache:Ukrainian
Veröffentlicht: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2009
Schriftenreihe:Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології
Schlagworte:
Online Zugang:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/32230
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Фотоелектричні властивості приймачів випромінювання, виготовлених на іонно травлених поверхнях кремнію / В.Г. Житарюк, В.М. Годованюк, І.В. Докторович // Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології. — 2009. — № 1 (17). — С. 137-140. — Бібліогр.: 4 назв. — укp.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine