Вольт-фарадные характеристики ионно-имплантированных структур GaAs

Выявлены особенности вольт-фарадных характеристик ионно-имплантированных структур GaAs, обусловленные наличием глубоких центров захвата.

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Datum:2008
Hauptverfasser: Горев, Н.Б., Коджеспирова, И.Ф., Привалов, Е.Н.
Format: Artikel
Sprache:Russian
Veröffentlicht: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2008
Schriftenreihe:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Schlagworte:
Online Zugang:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52449
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Вольт-фарадные характеристики ионно-имплантированных структур GaAs / Н.Б. Горев, И.Ф. Коджеспирова, Е.Н. Привалов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 4. — С. 52-54. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-52449
record_format dspace
spelling irk-123456789-524492014-01-02T03:09:38Z Вольт-фарадные характеристики ионно-имплантированных структур GaAs Горев, Н.Б. Коджеспирова, И.Ф. Привалов, Е.Н. Материалы электроники Выявлены особенности вольт-фарадных характеристик ионно-имплантированных структур GaAs, обусловленные наличием глубоких центров захвата. 2008 Article Вольт-фарадные характеристики ионно-имплантированных структур GaAs / Н.Б. Горев, И.Ф. Коджеспирова, Е.Н. Привалов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 4. — С. 52-54. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52449 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
topic Материалы электроники
Материалы электроники
spellingShingle Материалы электроники
Материалы электроники
Горев, Н.Б.
Коджеспирова, И.Ф.
Привалов, Е.Н.
Вольт-фарадные характеристики ионно-имплантированных структур GaAs
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Выявлены особенности вольт-фарадных характеристик ионно-имплантированных структур GaAs, обусловленные наличием глубоких центров захвата.
format Article
author Горев, Н.Б.
Коджеспирова, И.Ф.
Привалов, Е.Н.
author_facet Горев, Н.Б.
Коджеспирова, И.Ф.
Привалов, Е.Н.
author_sort Горев, Н.Б.
title Вольт-фарадные характеристики ионно-имплантированных структур GaAs
title_short Вольт-фарадные характеристики ионно-имплантированных структур GaAs
title_full Вольт-фарадные характеристики ионно-имплантированных структур GaAs
title_fullStr Вольт-фарадные характеристики ионно-имплантированных структур GaAs
title_full_unstemmed Вольт-фарадные характеристики ионно-имплантированных структур GaAs
title_sort вольт-фарадные характеристики ионно-имплантированных структур gaas
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
publishDate 2008
topic_facet Материалы электроники
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52449
citation_txt Вольт-фарадные характеристики ионно-имплантированных структур GaAs / Н.Б. Горев, И.Ф. Коджеспирова, Е.Н. Привалов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 4. — С. 52-54. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.
series Технология и конструирование в электронной аппаратуре
work_keys_str_mv AT gorevnb volʹtfaradnyeharakteristikiionnoimplantirovannyhstrukturgaas
AT kodžespirovaif volʹtfaradnyeharakteristikiionnoimplantirovannyhstrukturgaas
AT privaloven volʹtfaradnyeharakteristikiionnoimplantirovannyhstrukturgaas
first_indexed 2025-07-04T15:03:37Z
last_indexed 2025-07-04T15:03:37Z
_version_ 1836729152559906816
fulltext ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� ������ ��� �� � ��� ������ � �������� �� �� ���� � !������ ���������������� ��� � "#�$$ %&'()� � &���* ������������������� ������������������������ ��� ��� ��� ������������������������ � $������� � �������� ������ (�� � � ����+����� ,������� #-#$ � #&-$ ./01234 56789�:;0123 7< =!>?�/@-A-�#BC D-A-&�CA(E�(&( (!##!/(F'>-#�(A!=-##BD E�A$&�$A G1HI ����� ���!"!# ��!"�$��!�%���&'&(��) )&'&�� '$"�$�� $!��!�$�*�&��$'!�&�� ��)�"�'+��+'�,-./��!#+"�!�� ��� ��&�$� 0$ ��1�+#!�$)�2 ��'!��3&)�&�&� (���� �,���� ��� J ���� �K ��L���M�� ,�/ ���� �K�� ������ ���N���� � �� �����O�P� ���, �� ������ G1HI '�����O�� �,���� ��� �������/ Q�� ���,��� ����K���� � ��������� ����� � ��/ ���K������Q�� �����L��� ��,������������� ���/ N���,� ��� ��,�� � � ��� �P ,��� ���KP�� O K�/ ,� ��� ��� ��� �� ����� ���� ��� �����/�,����/ �������P� � ��� ��� � �, +���� � �� ���O /R����/ ��� ����� ���� ���� �� ��� M����� �����OK�� � �� ���������� ����,� ��� ���������������P� � ��� �� � ���N���� �� �� ������ S�Q�� ���Q�� ,� ��P ���+� � N��O����� �,��/ � � �����/�,���� �������P� � ��� �� �������P �� ��������L����� + � �� ������� ,�L�� �N��� O� �N������ N��O��� T� �� � ��� ���O�P, ������, ������ ���� ���N���P� ���� ���� �K,�� � � ���+/ ��, � ��� �� ������ ����� �������Q�� ���,��� 4 5 UVW� �� ���� ����� �� �P���� O� ��� �,P��/ ��� � �� �N��� � �N������ � �N��� O� �NX�,���� K�� �� �� ������� �,���� ���������� ��� � ���/ ��L��� U�W Y��O� ������ ��N� P �� � � �P ���/ ��� ���N����� �� ���O /R�����P� ����� ���� �� �����/�,���� �������P� � ��� ��� �N���������P� ����+��, ���N���� ��� ��� #�K��/ � �P����+�� � �� N��O���� �,��� O 67 � 8 97 ������Q�, �N��K�, �P��L�� � +���K ���� / L����� O ���� ��+������ ��� : ; �� ������� %,�/ ���J�������������)4 0 ,b LF rev E C S V δ = εε δ 0 0 , t b HF rev n E C S V δ = δ = εε δ "V* !�������, K�����,�� O ���� L����� � ���� ��/ +������ ��� : ; �� ������� %,� ���J����������/ ���) � �N�� ���� ���� L��� < =>? �� N��O��� T� / �� �� � ��� ����,� ��, � ��� ���� ����+����� �,���� ����� �������� ���,��� � �����K������/ Q�� �����L��� �����L�Q�� ,����� �����P � ���/ ��� ������ 4 / � ��,��������Q�� �� ���N���� ����/ ����P� ��� �P K���� � ����� ������ ��� � ������/ ������ 4 @ � ����,� � T����ZA��� �� ��P� "������/ ���� ���N���P� ���� ���� � ���+��� ����� ������O @��,� �������� � ������ �+����, ������, ���N���/ �� ��� ��* ����� A V '��R��O ������ ����� �,����/ ��������� �������� ���,��� �,�� ������� ���4 ( ){ }2 ( ) exp 2 ,d p pN x N x R = − − σ  #� ��������� O � ��� ��P ������� ��� �� T� / ��� � �� ���,� �����L��� �N�� ��� ���� L���� < =>? A������������ ���� L����� � ���� ��+������ ��� : � � ��� ��� ����P��� � ���������, '�������4 [ ] 0 d ( ) , d t d s E q n n N x N x = + − − εε "�* '�����O�� � N��O��� �����L��� �N�� ��� ���� / L����� ��� ��� ����Q�� +���K N��O��� �����N��L�/ ,� ,�� �� ������� ��O��� ���K�������O @��,� � ���/ ���O��� +�� � �����L�� ��� � ��� E������� ��/ ����� ����� N��O��� T� ��� �� ��� ����������� �� ��������������� � �P����� �����L��� O�� �� ��� � ��� � � �N��� � �N������ N��O��� � �,�Q�� � ���� ��O�� ����� @��,� � ,� ���� �� ����+��� B< =>? = ���� ��� � �� �� ���K������ @��,� ����/ ����� ������P���� � ��� �����,�� ��� d , d n q nE x kT = "[* ��� ε J ε � J C J < =>? J δ: ; � δA @ J � ���� ��O�� ������ ��+���� ��������,�� O ��/ ������������\ ������ ��+���� ��� � ��� \ ���Q��O N��O������ ��� �� �\ �N�� ��� ���� L���� �� N��O��� T� ��\ ��� �� � ����� �K,����� ���� L����� � ���� ��/ +������ ��� : ; � ������ ����� K����+���P� ����/ ���� A @ ��� �K,������ δ< =>? �N�� ���� ���� L��� �� N��O��� T� �� ��� ) J 4 D J E D J σ J �������� �� � �+� P���,� � ��������� � ����������/ ����\ ,����,��O�� ������ ���� �,���� �������P� ����/ ���\ ����� ������� ���N��� �����\ ������������ �+��� � �������� �������� ��� B J A J A @ J A @� ] K�� � ���� ����\ ������ ���� ���N���P� ���� ����\ ������ ���� K����+���P� ���� ����� 4 @ A ^"A_A V * ���`F J G J ��� � ��� a��O�,���\ �N���� �� �,���� ��� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �[ ��������� ������ ��� = ��,��� ������� ����� N��O��� T� �� ���/ ��+��� ������� �� ������� %,� ���J����������/ ���) ")]�* �,�� ��� ln , (0) c rev b NkT V q q n = − ϕ "�* CQ� ���� �����+��� �������� �� ���N��P ���/ ��L��� �,�� ��� 0 ,sub x x E n n →∞ →∞ → ⇔ → "�* ��� A /H; J ������ ���� ���N���P� ���� ���� � ���/ N��� �����L��� �� K���� � 4 @ �`4 / � A V �������, ����/ ����� ���O��� � A /H; _4 @ A /H; ^"A /H; _A V *]4 / $������� "�*� "[* � �����+�P,� ������ ,� "�*� "�* ����� ��� � ��N�� ���������� ������� K���/ +�� ��M���� �� ���� ��K��� � ��� � ����,�� ��/ �� L����� O ���� ��+������ ��� �� ������� %,�/ ���J�������������) &�� �������� �� ��M��� ��������P� �����P� K���+ �����OK�� � ��K��+�P� � ��������P� ,� �/ �P U[W = �����, L� ���+�� �����R��� K���+� ��K��/ � � ���� � �� � K���+� &�M�� �� ���N��� � � ���/ �� , ���� � �,� + � �� ������� �,���� ��������/ �� ��� � �����L�� �,�� � �N��� O �� �������� �NX�,���� K�� �� "������� %�����J�����L��)* U�W = ���� ���� + � ��N������ ����� � ��,����������/ ��� �����K������Q�� �����L�� ��,���� N��OM� ��N������� ����P � �,���� ��������, ����� � � �N��� O ���� ���� � � �����L�� �� K��+� ��O��� ���� � ���� ��������� Q�� M����� �N��� � ������/ ���� =�� �N��� � ���������� ��������� "�* �����/ ,�� ��� 0 1 d . d t s E q n n N N x n n   = + − εε +  "b* (����+�� �������� � I �K ��������� "[* � "b*� ����+�, 1 0 ( )d . d t sn N n n n NE kT n nE + + − = εε ":* $�������� ":* ,�L� NP O ����� ��M���� � � �+�/ �, ������ "�* ��� ������Q�� ��� ��M���� ,�L/ �� : � A4 1 2 1 1 2 sgn( ) ln ln , sub sub sub s t sub t sub kT E n n ql n n Nn n n N n n N n = − ×  − + × + − +  "�* ��� 0 2 .sub t kT l q N εε = �����O ,P ,�L�, �PN�� O ���� ���� �+�� I JA � �����L�� ��� �N��� � ���������� "I JA ZE D ccσ*� K�/ R�������� O ���� ���� K��+���� A JA ������ ����� ���N���P� ���� ����� ��� � �K "�* ��� �� � ���Q�� �,� K��+���� ���� L����� � ���� ��+������ ��� :"A JA * � K� �, ��M� O �������� "�*� "[* � ��+��O�P/ ,� ������ ,� :"I JA *]:"A JA *� A"I JA *]A JA d � ��K��� � ���O��� A JA ����+� O K�����,�� O : ; "< =>? *� � ������� ��O��� � 8 67 "< =>? * � ����,� ��+�/ ���� R��,� #����, ����O �P����+�� � ��� �,��� O 8 97 '�� O �N�� ��� ���� L���� < =>? �K,������O �� ,���� ����+��� δ< =>? � ��O NP� ��� + � ������ ��/ �� K����+���P� ���� ���� A @ �K,��� O� �� ����/ ��� � δA @ ]� '���� ���, : � A ��� �N�� ��, ��/ �� L���� < =>? _δ< =>? � ���� :]: � _δ:� A]A � _δA� ��� : � � A � J ��M���� ��� �,P "�*� "[* ��� �N�� ��, ���� / L���� < =>? � ����+����� �������P, �PM� ,� ���, E �+� �, ������ δA @ ]�� �������K��� ��������� "�*� "[* ��� 0 d ; d q E n x δ = δ εε "e* ( )0 0 d . d q n n E E n x kT δ = δ + δ "V�* >������K�����P� �����+�P� ������ "�*� "�* ���/ ��,�� ��� 0 0; x x E n →∞ →∞ δ → ⇔ δ → "VV* 0 (0) . (0)rev kT n V q n δδ = − "V�* C��� �K��� �� ��M���� : � � A � � � +�������� ��/ M���� �������� ������� K���+� "e*J"V�* ,�L� NP O ����� ����+��� � ����� �P,� ��� ��������P/ ,� ,� ���,�� �����,��� ,� ���, �������K���� U[W� ����� +��� �P����+�� � �� �,��� O 8 97 ������ � �� R��,��� "V* ����+�P� ����+� ���P� K�����,�� � ��K��/ � �P����+�� � ��� N��O����� �,��� � 8 67 � 8 97 ���/ ��/�,���� ��������� � ��� ��P G1HI � �N�� ��/ �� ���� L��� < =>? �� N��O��� T� �� �� ��K��+/ �P� K��+���� ������ ����� ���N���� ��� ��� 4 @ ��� R����������P� ����,� ��� ���������� 4 D � E D � σ ��������P �� ������ "4 D ]V�b�fV�V:`�,Z[\ E D ] ]��V�[`,�,\ σ]����V`,�,\ 4 / ]V�V�`�,Z[\ A /H; ]V�e`�,Z[\ ϕ ; ]���`�=\ C][��`,�,�\ K][��`&* &�� ����� �K ���O /R�����P� ����� ���� ��� ���/ N���� ��� �P ���KP��� K��+� ��O��� ��� ��� ��� �� ��K��/� �� � �� �P����+�� � ��� N��O����� �,/ ��� O ���� �� ��K��+�� � ��� ���O /R������� K���/ ��,�� � �,�� � �+�� �� ��� � �,��� �� ������ ��/ ����� �,��OM�� � � ��� �, ������ ����� ���N�/ ��� ��� ��� '� ������ � ��� �+�� ��� ��� � � ���/ +�� ��� ������O�P� � ��� �� U�JbW� �N��������� �����+����, ������ � �K,����� K�� �� N��O��� ��� 4 L J A"�* J ϕ ; J �RR�� ���� ��� ��� O ��� � ��� � K��� �������,�/ � � ��������������\ ������ ���� ���N���P� ���� ���� �� ������� %,�/ ���J�������������)\ �P�� � N��O��� �� � ����P ,� ���� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ��������� ������ ��� T� �� � �N�� �P, ���� L����, � ��+���, �� �����/ ���� ���� �M��� ���N���� ��� ��� ! ��+�� L� � ��� ������O�P� � ��� �� K����+�� � � �,� + � � ���/ ��+����, ������ ����� ���N���� ��� ��� � � �+��/ �� ��+�K�� d � �� K��� � �,� + � �����/�,/ ���� �������P� � ��� ��P �����L� ���N���� ��� / �P �� ��O�� � �����K������Q�� �����L��� �� � � ��/ ,�, �,���� ��������, ����� � ��� �,� ���� �M���� ���N���� ��� ��� � �K,������, �N�� ���� ���� L�/ �� ��������� ��� ���� �N�� �P� ���� L��� �� � �� ��O�� ��� �� ��P� �N��� O �NX�,���� K�� �� N��O��� T� �� ��� ���� �������� %�����J�����L��) g � ����� � �P����+�� � ��� ���O /R������� ����� ���� ���� � ��� �,�� �+�� �� ��K���� ����/ �� �,��� �� �� ��P� � �����+����, ������ ����� ���N���� ��� ��� ������� � � � ����� N���� ��K/ ��� �N�� �P� ���� L���� ����� ��������� �,���/ � �NX �� � � ��K��, �������, ������ ����� ���/ N���P� ���� ���� �� ������� ������ E �����+���/ �, L� ������ ����� ���N���� ��� ��� ����� ��L�/ � � ������ ��� ���M����� �N��� � �NX�,���� K�/ � �� �������� %�����J�����L��)� � ��� �,� ����/ ��� �,��� � ��+���� � ��� ,��OM�� �N�� �P� ��/ �� L��� � ��� ����, �N��K�,� ����K���� + � �� ���O /R�����P� ����� ���� ��� �����/�,���� �������P� � ��� �� 8 67 � �@ ��[� ��[� ���� ���� ��V� ��V� ���� � V � [ � < =>? � h [ V � � 1* N* 8 �7 � �@ ��[� ��[� ���� ���� ��V� ��V� ���� � V � [ < =>? � h [ V�� A�� `V =��O /R�����P� ����� ���� ��� ��K��+�� � ��� "&* � �P����+�� � ��� "#* N��O����� �,��� � �����/�,����/ ��������� � ��� ��P G1HI �� ��K��+�P� K��+���� 4 @ 4 M J �fV�V� �,Z[\ N J V�Vb\ O J [fV�Vb\ P J bfV�Vb �,Z[\ G1HI K��+� ��O��� ��� ��� ���KP��� ���N���� ��� �P K���� � !��N����� � ���O /R�����P� �����/ ���� ��� �N���������P� ����+��, ���N���� ��� / ���� ,��� NP O �����OK����P �� ������ ������ / ����� � �� ��� ��� �� ���O /R�����P, �K,����� , � ������P� ���������������P� ���� ���� (E'!>?i!=-##BC (E�!g#(&( V T�� F E����,���P� ���N��P �� ������ �������� ���/ �� J F 4 F��� VeeV � &�� P��� E - � '������� C @ � $����� - � j����� �/ ���������� � ���������+�P� ��������������P� � ��� ���� J &���4 #������ ��,��� Vee� [ #� Y =P+���� ��O�P� ,� ��P ��M��� ��������P� ���/ ��+�P� K���+ J F 4 F��� Ve�� � k���� # a � &�� P��� E - � F������� � = � �� =��O /R�/ ����P� ����� ���� �� ���������+�P� � ��� �� A/G1HI ^^ @�K��� � ������ ��������������� J Vee� J � �b� �`� J E �bVJ�b: � l6Imn389 o H � p76qr6769 . s � G6789 t h 8m 13 u6v/ w78x<8yzn z1{1z2m1yz8/963m158 zr171zm872|1m26y 6w }88{ 38983I 2y w230/ ~<ww87`31n87/I<~Im71m8 G1HI Im7<zm<78I ^^ o632}/om1m8 .38zm76y2zI J Veee J � �[� t V J p VbeJV:b b G6y|138|/�87y1y}8| � � p76qr6769 . � G6789 t h 8m 13 t6y/ }8Im7<zm298 m8zry2x<8 w67 mr8 zr171zm872|1m26y 6w }88{ m71{I 1m 2ym8731/ In87 2ym87w1z8I 2y mr2y/w230 0<3m231n87 I802z6y}<zm67 Im7<zm<78I ̂ ^ �6<7/ y13 6w �1z<<0 oz28yz8 � �8zry6365n h J Veee J � V:� t � J p �[�:J�[b� ���� � ��� � � � � � � � � �������� �� �� ��������� �� �� ������ ���� � ��� ���� � ���������� �������������������� ������ � ���� � !�� ���� ��������� �� �� � ����" ���� � �� ��# ��$ ������� �����%&������ '(()�# *'* �� ��������� � ���� ������� �� ������ �� ��� ������ ��� ��� ����� �� ������������� ������� � ������������������ ��� ����� ��������������� ��� � ������������ � ����������������� ������ ������ ���������� ��� � ���������� � ��� �� ���� ����� �!������������������������� ��������� ��������� ���� � ������"����� � ��� �������� ��������� �����#��� ������������������������� ��������� �� ��� � ����� ���� ���������$� �� �����%������!�������� � � ���� ��� ������� ����� ���� ������� �!� ������� ���������� ��������� � ������ � ������� �!� ��#��� � ������ � ��������� �����������������������������������!��&����������% ��� ���� � �� �� ������� ���������� ������� ����� �%� �������!���� "����� � �� �� ������� �!� ���� ���� � ���� �� ����%� ������ ���� �� ��� �!� �� ��� ��� � �� ��������%����!��'�!������ ���������������!���� ������� ���()��� ���� � ����*�