Вольт-фарадные характеристики ионно-имплантированных структур GaAs
Выявлены особенности вольт-фарадных характеристик ионно-имплантированных структур GaAs, обусловленные наличием глубоких центров захвата.
Gespeichert in:
Datum: | 2008 |
---|---|
Hauptverfasser: | , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | Russian |
Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2008
|
Schriftenreihe: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
Schlagworte: | |
Online Zugang: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52449 |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Zitieren: | Вольт-фарадные характеристики ионно-имплантированных структур GaAs / Н.Б. Горев, И.Ф. Коджеспирова, Е.Н. Привалов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 4. — С. 52-54. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraineid |
irk-123456789-52449 |
---|---|
record_format |
dspace |
spelling |
irk-123456789-524492014-01-02T03:09:38Z Вольт-фарадные характеристики ионно-имплантированных структур GaAs Горев, Н.Б. Коджеспирова, И.Ф. Привалов, Е.Н. Материалы электроники Выявлены особенности вольт-фарадных характеристик ионно-имплантированных структур GaAs, обусловленные наличием глубоких центров захвата. 2008 Article Вольт-фарадные характеристики ионно-имплантированных структур GaAs / Н.Б. Горев, И.Ф. Коджеспирова, Е.Н. Привалов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 4. — С. 52-54. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52449 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
collection |
DSpace DC |
language |
Russian |
topic |
Материалы электроники Материалы электроники |
spellingShingle |
Материалы электроники Материалы электроники Горев, Н.Б. Коджеспирова, И.Ф. Привалов, Е.Н. Вольт-фарадные характеристики ионно-имплантированных структур GaAs Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
description |
Выявлены особенности вольт-фарадных характеристик ионно-имплантированных структур GaAs, обусловленные наличием глубоких центров захвата. |
format |
Article |
author |
Горев, Н.Б. Коджеспирова, И.Ф. Привалов, Е.Н. |
author_facet |
Горев, Н.Б. Коджеспирова, И.Ф. Привалов, Е.Н. |
author_sort |
Горев, Н.Б. |
title |
Вольт-фарадные характеристики ионно-имплантированных структур GaAs |
title_short |
Вольт-фарадные характеристики ионно-имплантированных структур GaAs |
title_full |
Вольт-фарадные характеристики ионно-имплантированных структур GaAs |
title_fullStr |
Вольт-фарадные характеристики ионно-имплантированных структур GaAs |
title_full_unstemmed |
Вольт-фарадные характеристики ионно-имплантированных структур GaAs |
title_sort |
вольт-фарадные характеристики ионно-имплантированных структур gaas |
publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
publishDate |
2008 |
topic_facet |
Материалы электроники |
url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52449 |
citation_txt |
Вольт-фарадные характеристики ионно-имплантированных структур GaAs / Н.Б. Горев, И.Ф. Коджеспирова, Е.Н. Привалов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 4. — С. 52-54. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
work_keys_str_mv |
AT gorevnb volʹtfaradnyeharakteristikiionnoimplantirovannyhstrukturgaas AT kodžespirovaif volʹtfaradnyeharakteristikiionnoimplantirovannyhstrukturgaas AT privaloven volʹtfaradnyeharakteristikiionnoimplantirovannyhstrukturgaas |
first_indexed |
2025-07-04T15:03:37Z |
last_indexed |
2025-07-04T15:03:37Z |
_version_ |
1836729152559906816 |
fulltext |
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
���������
������
���
��
�
���
������
�
��������
�� ��
����
�
!������
����������������
���
�
"#�$$
%&'()�
�
&���*
������������������� ������������������������ ���
��� ���
������������������������ �
$�������
�
��������
������
(��
�
�
����+�����
,�������
#-#$
�
#&-$
./01234
56789�:;0123 7<
=!>?�/@-A-�#BC
D-A-&�CA(E�(&(
(!##!/(F'>-#�(A!=-##BD
E�A$&�$A
G1HI
����� ���!"!# ��!"�$��!�%���&'&(��)
)&'&�� '$"�$�� $!��!�$�*�&��$'!�&��
��)�"�'+��+'�,-./��!#+"�!�� ��� ��&�$�
0$ ��1�+#!�$)�2 ��'!��3&)�&�&�
(����
�,����
���
J
����
�K
��L���M��
,�/
����
�K��
������
���N����
�
��
�����O�P�
���,
��
������
G1HI
'�����O��
�,����
���
�������/
Q��
���,���
����K����
�
���������
�����
�
��/
���K������Q��
�����L���
��,�������������
���/
N���,�
���
��,��
�
�
���
�P
,���
���KP��
O
K�/
,�
���
��� ���
��
�����
����
���
�����/�,����/
�������P�
�
���
���
�
�,
+����
�
��
���O
/R����/
���
�����
����
����
��
���
M�����
�����OK��
�
��
����������
����,�
���
���������������P�
�
���
��
�
���N����
��
��
������
S�Q��
���Q��
,�
��P
���+�
�
N��O�����
�,��/
�
�
�����/�,����
�������P�
�
���
��
�������P
��
��������L�����
+
�
��
�������
,�L��
�N���
O�
�N������
N��O���
T�
��
�
���
���O�P,
������,
������
����
���N���P�
����
����
�K,�� �
�
���+/
��,
�
���
��
������
�����
�������Q��
���,���
4
5
UVW�
��
����
�����
��
�P����
O�
���
�,P��/
���
�
��
�N���
�
�N������
�
�N���
O�
�NX�,����
K�� ��
��
�������
�,����
����������
���
�
���/
��L���
U�W
Y��O�
������
��N�
P
�� �
�
�P ���/
���
���N�����
��
���O
/R�����P�
�����
����
��
�����/�,����
�������P�
�
���
���
�N���������P�
����+��,
���N����
���
���
#�K��/
�
�P����+��
�
��
N��O����
�,���
O
67
�
8
97
������Q�,
�N��K�,
�P��L��
�
+���K
���� /
L�����
O
����
��+������
���
:
;
��
�������
%,�/
���J�������������)4
0 ,b
LF
rev
E
C S
V
δ
= εε
δ
0 0 ,
t
b
HF
rev
n
E
C S
V δ =
δ
= εε
δ
"V*
!�������,
K�����,��
O
���� L�����
�
����
��/
+������
���
:
;
��
�������
%,�
���J����������/
���)
�
�N��
����
���� L���
<
=>?
��
N��O���
T�
/
��
��
�
���
����,�
��,
�
���
����
����+�����
�,����
�����
��������
���,���
�
�����K������/
Q��
�����L���
�����L�Q��
,�����
�����P
�
���/
���
������
4
/
�
��,��������Q��
��
���N����
����/
����P�
���
�P
K����
�
�����
������
���
�
������/
������
4
@
�
����,�
�
T����ZA���
��
��P�
"������/
����
���N���P�
����
����
�
���+���
�����
������O
@��,�
��������
�
������
�+����,
������,
���N���/
��
���
��*
�����
A
V
'��R��O
������
�����
�,����/
���������
��������
���,���
�,��
�������
���4
( ){ }2
( ) exp 2 ,d p pN x N x R = − − σ
#�
���������
O
�
���
��P
�������
���
��
T�
/
���
�
��
���,�
�����L���
�N��
���
���� L����
<
=>?
A������������
���� L�����
�
����
��+������
���
:
�
�
���
���
����P���
�
���������,
'�������4
[ ]
0
d
( ) ,
d t d s
E q
n n N x N
x
= + − −
εε
"�*
'�����O��
�
N��O���
�����L���
�N��
���
���� /
L�����
���
���
����Q��
+���K
N��O���
�����N��L�/
,�
,��
��
�������
��O���
���K�������O
@��,�
�
���/
���O���
+��
�
�����L��
���
� ���
E�������
��/
�����
�����
N��O���
T�
���
��
���
�����������
��
���������������
�
�P�����
�����L���
O��
��
���
� ���
�
�
�N���
�
�N������
N��O���
�
�,�Q��
�
����
��O��
�����
@��,�
�
,�
����
��
����+���
B<
=>?
=
����
���
� ��
��
���K������
@��,�
����/
�����
������P����
�
���
�����,��
���
d
,
d
n q
nE
x kT
=
"[*
���
ε
J
ε
�
J
C
J
<
=>?
J
δ:
;
�
δA
@
J
�
����
��O��
������
��+����
��������,��
O
��/
������������\
������
��+����
���
� ��� \
���Q��O
N��O������
���
��
�\
�N��
���
���� L����
��
N��O���
T�
��\
���
��
�
�����
�K,�����
���� L�����
�
����
��/
+������
���
:
;
�
������
�����
K����+���P�
����/
����
A
@
���
�K,������
δ<
=>?
�N��
����
���� L���
��
N��O���
T�
��
���
)
J
4
D
J
E
D
J
σ
J
��������
��
�
�+�
P���,�
�
���������
�
����������/
����\
,����,��O��
������
����
�,����
�������P�
����/
���\
�����
�������
���N���
�����\
������������
�+���
�
��������
��������
���
B
J
A
J
A
@
J
A
@�
]
K�� �
����
����\
������
����
���N���P�
����
����\
������
����
K����+���P�
����
�����
4
@
A ^"A_A
V
*
���`F
J
G
J
���
� ���
a��O�,���\
�N����
��
�,����
���
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
�[
���������
������
���
=
��,���
�������
�����
N��O���
T�
��
���/
��+���
�������
��
�������
%,�
���J����������/
���)
")]�*
�,��
���
ln ,
(0)
c
rev b
NkT
V q
q n
= − ϕ
"�*
CQ�
����
�����+���
��������
��
���N��P
���/
��L���
�,��
���
0 ,sub
x x
E n n
→∞ →∞
→ ⇔ →
"�*
���
A
/H;
J
������
����
���N���P�
����
����
�
���/
N���
�����L���
�� K����
�
4
@
�`4
/
�
A
V
�������,
����/
�����
���O���
�
A
/H;
_4
@
A
/H;
^"A
/H;
_A
V
*]4
/
$�������
"�*�
"[*
�
�����+�P,�
������ ,�
"�*�
"�*
�����
��� �
��N��
����������
�������
K���/
+��
��M����
��
����
��K��� �
���
�
����,��
��/
�� L�����
O
����
��+������
���
��
�������
%,�/
���J�������������)
&��
��������
��
��M���
��������P�
�����P�
K���+
�����OK��
�
��K��+�P�
�
��������P�
,�
�/
�P
U[W
=
�����,
L�
���+��
�����R���
K���+�
��K��/
� �
����
�
��
�
K���+�
&�M��
��
���N���
�
�
���/
�� ,
����
�
�,�
+
�
��
�������
�,����
��������/
��
���
�
�����L��
�,��
�
�N���
O
��
��������
�NX�,����
K�� ��
"�������
%�����J�����L��)*
U�W
=
����
����
+
�
��N������
�����
�
��,����������/
���
�����K������Q��
�����L��
��,����
N��OM�
��N�������
����P
�
�,����
��������,
�����
�
�
�N���
O
����
����
�
�
�����L��
��
K��+�
��O���
����
� ����
��������� Q��
M�����
�N���
�
������/
����
=��
�N���
�
����������
���������
"�*
�����/
,��
���
0 1
d
.
d t s
E q n
n N N
x n n
= + − εε +
"b*
(����+��
��������
�
I
�K
���������
"[*
�
"b*�
����+�,
1
0
( )d
.
d
t sn N n n n NE kT
n nE
+ + −
=
εε
":*
$��������
":*
,�L�
NP
O
�����
��M����
�
�
�+�/
�,
������
"�*
���
������Q��
���
��M����
,�L/
��
:
�
A4
1 2
1
1
2
sgn( )
ln ln ,
sub
sub
sub s
t sub t sub
kT
E n n
ql
n n Nn n n
N n n N n
= − ×
− +
× + − +
"�*
���
0
2
.sub
t
kT
l
q N
εε
=
�����O
,P
,�L�,
�PN��
O
����
����
�+��
I
JA
�
�����L��
���
�N���
�
����������
"I
JA
ZE
D
ccσ*�
K�/
R��������
O
����
����
K��+����
A
JA
������
�����
���N���P�
����
�����
���
�
�K
"�*
���
��
�
���Q��
�,�
K��+����
���� L�����
�
����
��+������
���
:"A
JA
*
�
K�
�,
��M�
O
��������
"�*�
"[*
�
��+��O�P/
,�
������ ,�
:"I
JA
*]:"A
JA
*�
A"I
JA
*]A
JA
d
�
��K��� �
���O���
A
JA
����+�
O
K�����,��
O
:
;
"<
=>?
*�
�
�������
��O���
�
8
67
"<
=>?
*
�
����,�
��+�/
����
R��,�
#����,
����O
�P����+��
�
���
�,���
O
8
97
'��
O
�N��
���
���� L����
<
=>?
�K,������O
��
,����
����+���
δ<
=>?
�
��O
NP�
���
+
�
������
��/
��
K����+���P�
����
����
A
@
�K,���
O�
��
����/
���
�
δA
@
]�
'����
���,
:
�
A
���
�N��
��,
��/
�� L����
<
=>?
_δ<
=>?
�
����
:]:
�
_δ:�
A]A
�
_δA�
���
:
�
�
A
�
J
��M����
���
�,P
"�*�
"[*
���
�N��
��,
���� /
L����
<
=>?
�
����+�����
�������P,
�PM�
,�
���,
E
�+�
�,
������
δA
@
]��
�������K���
���������
"�*�
"[*
���
0
d
;
d
q
E n
x
δ = δ
εε
"e*
( )0 0
d
.
d
q
n n E E n
x kT
δ = δ + δ
"V�*
>������K�����P�
�����+�P�
������
"�*�
"�*
���/
��,��
���
0 0;
x x
E n
→∞ →∞
δ → ⇔ δ →
"VV*
0
(0)
.
(0)rev
kT n
V
q n
δδ = −
"V�*
C���
�K���
��
��M����
:
�
�
A
�
�
�
+��������
��/
M����
��������
�������
K���+�
"e*J"V�*
,�L�
NP
O
�����
����+���
�
�����
�P,�
���
��������P/
,�
,�
���,��
�����,���
,�
���,
�������K����
U[W�
�����
+���
�P����+��
�
��
�,���
O
8
97
������
�
��
R��,���
"V*
����+�P�
����+�
���P�
K�����,��
�
��K��/
�
�P����+��
�
���
N��O�����
�,���
�
8
67
�
8
97
���/
��/�,����
���������
�
���
��P
G1HI
�
�N��
��/
��
���� L���
<
=>?
��
N��O���
T�
��
��
��K��+/
�P�
K��+����
������
�����
���N����
���
���
4
@
���
R����������P�
����,�
���
����������
4
D
�
E
D
�
σ
��������P
��
������
"4
D
]V�b�fV�V:`�,Z[\
E
D
]
]��V�[`,�,\
σ]����V`,�,\
4
/
]V�V�`�,Z[\
A
/H;
]V�e`�,Z[\
ϕ
;
]���`�=\
C][��`,�,�\
K][��`&*
&��
�����
�K
���O
/R�����P�
�����
����
���
���/
N����
���
�P
���KP���
K��+�
��O���
��� ���
���
��
��K��/�
��
�
��
�P����+��
�
���
N��O�����
�,/
���
O
����
��
��K��+��
�
���
���O
/R�������
K���/
��,��
�
�,��
�
�+��
��
���
�
�,���
��
������
��/
�����
�,��OM��
�
�
���
�,
������
�����
���N�/
���
���
���
'� ������
�
���
�+��
���
���
�
�
���/
+��
���
������O�P�
�
���
��
U�JbW�
�N���������
�����+����,
������
�
�K,�����
K�� ��
N��O���
���
4
L
J
A"�*
J
ϕ
;
J
�RR��
����
���
���
O
���
� ���
�
K���
�������,�/
�
�
��������������\
������
����
���N���P�
����
����
��
�������
%,�/
���J�������������)\
�P��
�
N��O���
��
�
����P
,�
����
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
���������
������
���
T�
��
�
�N��
�P,
���� L����,
�
��+���,
��
�����/
����
����
�M���
���N����
���
���
!
��+��
L�
�
���
������O�P�
�
���
��
K����+��
�
�
�,�
+
�
�
���/
��+����,
������
�����
���N����
���
���
�
�
�+��/
��
��+�K��
d
�
�� K���
�
�,�
+
�
�����/�,/
����
�������P�
�
���
��P
�����L�
���N����
���
/
�P
��
��O��
�
�����K������Q��
�����L���
��
�
�
��/
,�,
�,����
��������,
�����
�
���
�,�
����
�M����
���N����
���
���
�
�K,������,
�N��
����
���� L�/
��
���������
���
����
�N��
�P�
���� L��� ��
�
��
��O��
���
��
��P�
�N���
O
�NX�,����
K�� ��
N��O���
T�
��
���
����
��������
%�����J�����L��)
g
�
�����
�
�P����+��
�
���
���O
/R�������
�����
����
����
�
���
�,��
�+��
��
��K����
����/
��
�,���
��
��
��P�
�
�����+����,
������
�����
���N����
���
���
�������
�
�
�
�����
N����
��K/
���
�N��
�P�
���� L����
�����
���������
�,���/
�
�NX �� �
�
��K��,
�������,
������
�����
���/
N���P�
����
����
��
�������
������
E
�����+���/
�,
L�
������
�����
���N����
���
���
�����
��L�/
�
�
������
���
���M�����
�N���
�
�NX�,����
K�/
� ��
��������
%�����J�����L��)�
�
���
�,�
����/
���
�,���
�
��+����
�
���
,��OM��
�N��
�P�
��/
�� L��� �
���
����,
�N��K�,�
����K����
+
�
��
���O
/R�����P�
�����
����
���
�����/�,����
�������P�
�
���
��
8
67
�
�@
��[�
��[�
����
����
��V�
��V�
����
�
V
�
[
�
<
=>?
�
h
[
V
�
�
1* N* 8
�7
�
�@
��[�
��[�
����
����
��V�
��V�
����
�
V
�
[
<
=>?
�
h
[ V��
A�� `V
=��O
/R�����P�
�����
����
���
��K��+��
�
���
"&*
�
�P����+��
�
���
"#*
N��O�����
�,���
�
�����/�,����/
���������
�
���
��P
G1HI
��
��K��+�P�
K��+����
4
@
4
M
J
�fV�V�
�,Z[\
N
J
V�Vb\
O
J
[fV�Vb\
P
J
bfV�Vb
�,Z[\
G1HI
K��+�
��O���
��� ���
���KP���
���N����
���
�P
K����
�
!��N�����
�
���O
/R�����P�
�����/
����
���
�N���������P�
����+��,
���N����
���
/
����
,���
NP
O
�����OK����P
��
������
������
/
�����
�
��
���
���
��
���O
/R�����P,
�K,����� ,
�
������P�
���������������P�
����
����
(E'!>?i!=-##BC
(E�!g#(&(
V
T��
F
E����,���P�
���N��P
��
������
��������
���/
�� J
F 4
F���
VeeV
�
&��
P���
E
- �
'�������
C
@ �
$�����
-
�
j�����
�/
����������
�
���������+�P�
��������������P�
�
���
���� J
&���4
#������
��,���
Vee�
[
#�
Y
=P+����
��O�P�
,�
��P
��M���
��������P�
���/
��+�P�
K���+ J
F 4
F���
Ve��
�
k����
#
a �
&��
P���
E
- �
F�������
�
=
�
��
=��O
/R�/
����P�
�����
����
��
���������+�P�
�
���
��
A/G1HI
^^
@�K���
�
������
��������������� J
Vee� J
�
�b�
�`� J
E
�bVJ�b:
�
l6Imn389
o
H �
p76qr6769
.
s �
G6789
t
h
8m
13
u6v/
w78x<8yzn
z1{1z2m1yz8/963m158
zr171zm872|1m26y
6w
}88{
38983I
2y
w230/
~<ww87`31n87/I<~Im71m8
G1HI
Im7<zm<78I
^^
o632}/om1m8
.38zm76y2zI J
Veee J
�
�[�
t
V J
p
VbeJV:b
b
G6y|138|/�87y1y}8|
� �
p76qr6769
. �
G6789
t
h
8m
13
t6y/
}8Im7<zm298
m8zry2x<8
w67
mr8
zr171zm872|1m26y
6w
}88{
m71{I
1m
2ym8731/
In87
2ym87w1z8I
2y
mr2y/w230
0<3m231n87
I802z6y}<zm67
Im7<zm<78I
̂ ^
�6<7/
y13
6w
�1z<<0
oz28yz8
�
�8zry6365n
h J
Veee J
�
V:�
t
� J
p
�[�:J�[b�
���� �
���
�
�
�
�
�
�
�
�
��������
��
��
���������
��
��
������
����
�
���
���� �
����������
��������������������
������
�
���� �
!��
����
���������
��
��
�
����"
���� �
��
��#
��$
�������
�����%&������
'(()�#
*'*
��
���������
� ����
�������
�� ������
�� ���
������
��� ��� ����� �� �������������
�������
� ������������������ ���
����� ��������������� ���
� ������������ �
�����������������
������
������ ����������
���
� ���������� �
��� ��
����
����� �!�������������������������
���������
��������� ����
� ������"�����
� ��� �������� ��������� �����#���
�������������������������
��������� ��
���
� ����� ���� ���������$� ��
�����%������!��������
�
�
���� ���
�������
�����
���� ������� �!� ������� ���������� ���������
� ������
� ������� �!� ��#���
�
������
� ���������
�����������������������������������!��&����������%
���
���� �
��
�� ������� ���������� ������� ����� �%� �������!���� "�����
� �� ��
������� �!� ����
���� �
����
�� ����%� ������ ���� �� ��� �!� �� ��� ���
� ��
��������%����!��'�!������ ���������������!���� ������� ���()���
���� �
����*�
|