Электропроводящие тонкие пленки для BaCuTeF прозрачных контактов в полупроводниковой электронике
Исследованы химический состав и физические свойства тонких пленок BaCuTeF. Показана возможность улучшения электрических параметров пленок путем добавления в них избыточной меди....
Gespeichert in:
| Datum: | 2008 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2008
|
| Schriftenreihe: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52541 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Электропроводящие тонкие пленки для BaCuTeF прозрачных контактов в полупроводниковой электронике / З.Ю. Готра, Дж. Тейт, Р. Кикинеши, А.А. Закутаев, Л.М. Ракобовчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2008. — № 6. — С. 54-57. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |