Математическая модель формирования силицидных пленок методом ионной бомбардировки при встречных потоках диффузантов к границам протекания реакции
Рассматриваются вопросы формирования пленочных структур силицидных материалов путем бомбардировки конденсата частично ионизированных компонентов потоком металла. Исследуются новые технологические подходы к изготовлению перспективной элементной базы вычислительной техники....
Gespeichert in:
| Datum: | 2002 |
|---|---|
| 1. Verfasser: | |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Інститут кібернетики ім. В.М. Глушкова НАН України
2002
|
| Online Zugang: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/6354 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Математическая модель формирования силицидных пленок методом ионной бомбардировки при встречных потоках диффузантов к границам протекания реакции / В.Г. Вербицкий // Комп’ютерні засоби, мережі та системи. — 2002. — № 1. — С. 14-19. — Бібліогр.: 2 назв. — рос. |