Влияние облучения быстрыми нейтронами на эпитаксиальный арсенид галлия

Показана возможность управления параметрами эпитаксиальных слоев арсенида галлия с помощью радиационной обработки быстрыми нейтронами. В технологическом аспекте облучение нейтронами предлагается разделить на два вида в зависимости от дозы облучения. Первый (дозы облучения до 1·10¹⁵см⁻²) может служит...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Datum:2002
Hauptverfasser: Завадский, В.А., Ленков, С.В., Лукомский, Д.В., Мокрицкий, В.А.
Format: Artikel
Sprache:Russian
Veröffentlicht: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2002
Schriftenreihe:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Schlagworte:
Online Zugang:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70797
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Влияние облучения быстрыми нейтронами на эпитаксиальный арсенид галлия / В.А. Завадский, С.В. Ленков, Д.В. Лукомский, В.А. Мокрицкий // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 6. — С. 7-9. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-70797
record_format dspace
spelling irk-123456789-707972014-11-14T03:01:35Z Влияние облучения быстрыми нейтронами на эпитаксиальный арсенид галлия Завадский, В.А. Ленков, С.В. Лукомский, Д.В. Мокрицкий, В.А. Материалы для микроэлектроники Показана возможность управления параметрами эпитаксиальных слоев арсенида галлия с помощью радиационной обработки быстрыми нейтронами. В технологическом аспекте облучение нейтронами предлагается разделить на два вида в зависимости от дозы облучения. Первый (дозы облучения до 1·10¹⁵см⁻²) может служить средством улучшения свойств слоев: повышение подвижности носителей заряда и увеличение быстродействия. Второй (дозы облучения более 5·10¹⁵см⁻²) снижает концентрацию и подвижность носителей заряда. The opportunity of control (management) of parameters of arsenide gallium epilayers with the help of radiation handling by fast neutrons is shown. In technological aspect the irradiation by neutrons as a control facility properties of arsenide gallium epilayers is offered to be divided into two aspects depending on a doze of an irradiation. The first aspect — small dozes of an irradiation up to 1·10¹⁵sm⁻² — the heightening of mobility of charge carriers and increase of speed can serve by a means of improvement of properties of stratums. The second aspect — doze of an irradiation more than 5·10¹⁵sm⁻²— decreases concentration and mobility of charge carriers. 2002 Article Влияние облучения быстрыми нейтронами на эпитаксиальный арсенид галлия / В.А. Завадский, С.В. Ленков, Д.В. Лукомский, В.А. Мокрицкий // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 6. — С. 7-9. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70797 621.37/39.193:539.216:539.211 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
topic Материалы для микроэлектроники
Материалы для микроэлектроники
spellingShingle Материалы для микроэлектроники
Материалы для микроэлектроники
Завадский, В.А.
Ленков, С.В.
Лукомский, Д.В.
Мокрицкий, В.А.
Влияние облучения быстрыми нейтронами на эпитаксиальный арсенид галлия
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Показана возможность управления параметрами эпитаксиальных слоев арсенида галлия с помощью радиационной обработки быстрыми нейтронами. В технологическом аспекте облучение нейтронами предлагается разделить на два вида в зависимости от дозы облучения. Первый (дозы облучения до 1·10¹⁵см⁻²) может служить средством улучшения свойств слоев: повышение подвижности носителей заряда и увеличение быстродействия. Второй (дозы облучения более 5·10¹⁵см⁻²) снижает концентрацию и подвижность носителей заряда.
format Article
author Завадский, В.А.
Ленков, С.В.
Лукомский, Д.В.
Мокрицкий, В.А.
author_facet Завадский, В.А.
Ленков, С.В.
Лукомский, Д.В.
Мокрицкий, В.А.
author_sort Завадский, В.А.
title Влияние облучения быстрыми нейтронами на эпитаксиальный арсенид галлия
title_short Влияние облучения быстрыми нейтронами на эпитаксиальный арсенид галлия
title_full Влияние облучения быстрыми нейтронами на эпитаксиальный арсенид галлия
title_fullStr Влияние облучения быстрыми нейтронами на эпитаксиальный арсенид галлия
title_full_unstemmed Влияние облучения быстрыми нейтронами на эпитаксиальный арсенид галлия
title_sort влияние облучения быстрыми нейтронами на эпитаксиальный арсенид галлия
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
publishDate 2002
topic_facet Материалы для микроэлектроники
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70797
citation_txt Влияние облучения быстрыми нейтронами на эпитаксиальный арсенид галлия / В.А. Завадский, С.В. Ленков, Д.В. Лукомский, В.А. Мокрицкий // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 6. — С. 7-9. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.
series Технология и конструирование в электронной аппаратуре
work_keys_str_mv AT zavadskijva vliânieoblučeniâbystryminejtronaminaépitaksialʹnyjarsenidgalliâ
AT lenkovsv vliânieoblučeniâbystryminejtronaminaépitaksialʹnyjarsenidgalliâ
AT lukomskijdv vliânieoblučeniâbystryminejtronaminaépitaksialʹnyjarsenidgalliâ
AT mokrickijva vliânieoblučeniâbystryminejtronaminaépitaksialʹnyjarsenidgalliâ
first_indexed 2025-07-05T19:57:48Z
last_indexed 2025-07-05T19:57:48Z
_version_ 1836838256399876096
fulltext ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � � ��������� �� ���� ������ ���� �� � ��� ������ � �������� � !�� " �! �� ���� �! #������ ��������������� �� �� ��� $%&%'� �! &���( ������������������ � ��������������������� ��� ������� ��� �������������������� � � � )������� #������ ���! *����� �����*� � #������� ���! ���� ����+����� �������� � , �! %���� -��! ���������.� �������� � /012345 627318629!3:;2<!=7><<2!?2 @ABC-BD #&A)ED-BC &FG�HFIB -DJ�H#-KIB -K L'B�K%GBKAM-FJ KHGD-B� NKAABC ��������� ����!��"�#� $%&� '(�)* +'(��&��)�),("�)�)�%�&��(�&��)�+%)� ���")�'#�-.� "'�( � �&"(�)��� /�'')*� " %���0#1�&��)�2)����3��4&�4���)�4-� "�&-�)��(3�&����)� C������ ������� ����� � �� ���*��� ��� � ��.0 � �� ������� �����OP�� � �+��.*� �� �������0 ����� ����� � *� ������� Q�R! @ �+���� ��������� ������O��� ��� ��� �� ���*���� ��������� ���� ��������� ��S� ��P*�S��� O �����OP����� �����0 �� ����� � � ��������+����� ��� � Q�� �R� ��� �0 �+�� ����T�� ��T����O ����+����� � �����*�+��0 ��� ���U��*. �����OP����� ������������ ������0 ��� � ����������������� ���*.T������ � )����0 �. � H����� Q�"VR! @ ��� � W�� ��U� � �������� �����P ��P*�S���0 �� ��P���� �� ������������� �U��+��� U.� �.0 *� ��� ����*� �� ����� �� ��� ������O�.� ����� $LG( �������� ����� � ���O� ������������� �����0 ���� ���� ��X�P�+����*� ����� ��*� LG Y2Z<! #U��+���� ��� ����*� �����������O �����������0 �.� ��� ������O�.� ���� �������� ����� � �� � �+��� ������ ������ �� ���.� ���*���� $�!!!��([�����*\ � � ��S� ����������.� �����* � ������* $�*! �������(! B� �+����* U.� �.� ��� ����� � �������� �]�V I�@ ���S�� ������ �� ��� ����� ��� ^N0�V�! '� �� ��� 0 ����� �P*�� �� *� ���* �� ������ X��O�� \ ����� �P �.����+�� �� *��� $__�_`( ��W���� ���V ** � ���*� 0 ��* ��\�V **! @��* �U��+��� " � *��� �.���S�� �U��P��� ����� �U��+��� " � *��! N�**�0�� ����� O ������P� ��� ��G? �P*�� �� ������� �����.* �� ��0 ���* � ���� ����* a2b$c>( ���*� ��* �V ** �� ���� �0 ��� d� ** � ��� ��! I���.� ���� ��*�W��� *�S�� ���* ���� ����*� �P ����� ����� ��W���� _�V ** � ���*� ��* �"]V **! @ ��+�� �� �����P����W�� ����0 �� ��. �����OP����� *���������O�.� �*��� ���.� �����P� �� KB0���]! H��+� ����+��. �� �����O���� �� ��� ��� ����� ����P������ �� X��*��� Q�R Eaqp S � p=0 � $�( ��� 5& " ���W��O X� �����, 6�" �XX�� ����� O ����� ����� �� ���*� ��� e��0 �+���"�� �� ��e, 7 " �������� �� �����W���� � ����� ����� � ��S��� �� �� ���, 8�" �.��� ��**�0���� �� �� �� ������� �P� ��� ��G?, 9 " �������*�� ��O�� �XX�� ����� O X� �����! ��(�(�)(� +'(��&��)�),("�).� %�&��(�&� � �&"(�)��� /�'')*�� �4'$,(���/�� �(3�&����) :�'*� ���-��4'$,(�)*� ;<;=;>�"�?@A ��������� � ��� ���� ��� ��� � ���������� ���� ������� �–3 ���� ��� ���� �2��� ��� ������� � �� ��� ������� � ���� - �������� - ����� ���! ��� ������� � �� ��� ������� � ���� - �������� - ����� ���! ��� ������� � �� ��� ������� � ���� - �������� - ����� ���! ������" 0,01888 0,01895 +0,4 1,39·1017 1,35·1017 –17,3 2380 2880 +21,0 0,01632 0,01638 +0,4 1,53·1017 1,26·1017 –17,7 2498 3029 +21,3 #���$ ������%��& ��" ����%�� �� 0,06176 0,36151 +485,3 1,86·1016 4,8·1015 –74,1 5430 3591 –33,86 0,05840 0,51560 +782,8 2,39·1016 4,40·1015 –81,59 4475 2770 –38,10 ' ��" ����%�� �� ����$ ������%���������� 0,00563 0,00639 +13,44 3,70·1017 3,04·1017 –17,80 2996 3207 +7,04 0,00520 0,00517 –0,70 6,86·1017 5,76·1017 –16,00 1751 2100 +19,9 ' ��" ����%�� �� ����$ ������%��� �"�� 0,00191 0,00199 +4,81 1,45·1018 1,2·1018 –17,24 2261 2595 +14,80 0,05690 0,05550 –2,50 1,05·1018 8,63·1017 –17,8 104 130 +25,1 f ��������� �� ���� ������ ���� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � d��+��� ������.� ����*� ��� ����� �� � ����� �U��+��� ��P�*� �[���] �*\� ��� ����� ��������. � �U����! '���� �U��+��� U���� �.����*� ��P�*� ��� ����� ����O��� ����� ������� ����� � � ���O0 �.� ���+� � ��P��� ��� ��� ��O��� + � ��� ����P*�S0 �� U.�� �P*��� O *� ���* @��0���0'��! K����P ����+���.� ����.� ����P.��� � + � ��� *��.� ��P�� �U��+��� $�� ����V �*\�( � �.����� ��0 +��O��� ������ ����� ���U���.� ���� ���� P�� �� � ��� � �� ���� ��X�P�+����� ����� ���� ��� �P*�0 � � � 5 �*��OT�� � ������ ���� � ��P��� �� ���0 ��S��� O ���� ���� P�� ��! '�� � �* � ����O �� �P0 *����� �� P����� � ��� �������W�� ���*���! '�� U��OT�� ��P�� �U��+��� ��U����� � ��*������� *� ������ ��� ����������.*� ��X�� �*�! L � ���0 �� � � � �*��OT���� ������ ����� ���� ���� P�0 � �� � �� �����S��� � � ��P��� ���� ����+��. ����O0 ���� ����� ������ ��� ! BP*������ ����*� ��� ��� P���O ��S� �� P����� � ��� �������W�� ���*���! L � ���U����� � ����T� ����. �� ���X���� P�0 ����*�� � � ���� ��O���� �P*����� � ���� ������0 ����� � �����S��� � � ��+��O���� P��+��� ���0 ��� ����� ���� ���� P�� �� � ��P. �U��+��� ��� 0 ����*� $�*! �� � ��(� ��� B�� B " ������ ���� ��0 �� ���� P�� ��� µ�� µ " �����S��� O " �� � ����� �U��+��� � ��� �� � �����! '�� ��P�� �U��+��� $�!!!��([���] �*\� �P*������ ����*� ��� P����� ��O0 �� � ��+��O��� ������ ����� ���� ���� P�� �� � �� P����� � ��P. �U��+��� $����.� ;� @� C(! '�� B�g�[�� �� �*\ P���O ��U����� � ���+T���� ����*� 0 ��� ��� ������O���� ��� ��P�����*� � ��� � ���0 ��� ����� �������W�� ���*���! '�� ��P�� �U��+�0 �� � U��OT�� V[���V �*\�� ��U����� � P��+� ��O�.� �P*����� ����*� ���� P���� W�� � ��P. �U��+�0 �� � �� P���� W�� � ��� �������W�� ���*���! K����P �P*����� ������ ����� ���� ���� P�� �� � ��P. �U��+��� ��� ����*� ����P.��� � + � �� �*��OT����� ����U��� ��P��O � �*� ����+���.* � ��U� � Q�� �! ]]R� ��U����� � � ��T�� ��U� � ��� ��+��O��� ������ ����� �� ���.� ���*���� � ��� B� ≤ $V�!!!�V�(�'� $�( ��� �' " ��P� �U��+��� ��� ����*�! '�� � �* *��OT�* ��P�* ��� �� � ��� U��OT�� P��+���� +�������� ���XX����� �! G ����� O ����� � �U��+���� ��� ����*� P���0 �� � P��+� ��O��� � ����� � ��P. �U��+��� ! #U0 ��+���� ��P�*� ��� ����� U��OT� V[���V �*\� �.P.0 ��� U��OT�� �P*����� ���� ��X�P�+����� ����� � �����! #����* � � �� ������ � �*� ��*�������� ����0 ���� P�� �� ����������.*� ��X�� �*�! G+� ��*� + � ������� �.������ ���� ���� P�� �� ��� ���� �� ������������O��*� P�����5 BhB�[>ij$\DB�'(� $ ( ��� DB " ���XX����� � ����� ���P��W�� ������ O �.0 ������ ���� ���� P�� ��! '�� �U��+���� ��P�*� ��� ����� $�!!!���([���] �*\� � ��+��O��� ������ ����� ���U���.� ���� ���� P�� �� � �������� $�!!!���([���� �*\ ���P����O� + � ����+��� B P����� �� ��O�� � ��+��O��� ������ ����� ��0 �� ���� � ��� ������O��* ����� �� � � ��P. �U��+�0 �� ! G����� � *� � O� + � ��� P�����*�� O ���� ���S�.� ����� ��! L � ��P��� � ��������S� O ��0 W�� �������� �� ������� *���� ���� ��P��+�.� �� ����� ������� *�����P*�� ��P���� �� ��� ������� �U��+��� �� ����� �� ��� ������O�.� ����� ����0 ���� ����� ! kkk ����* �U��P�*� ��� ��� �U��+��� ��� ����*� �� ���� ��X�P�+����� ����*� �. ��� ������O�.� ����� �������� ����� ������� � ������W�* ��P��O � �*! �! @�� ��� ��� ����� �� ���� ��X�P�+����� ��0 ��*� �. ��� ������O�.� ����� �������� ����� ��0 ��� ���P�� � ��W�� �������* ���� ����� ������ � P��+��� � ��P. �U��+��� 5 �� ��� �U��+���� �� ���0 � ��� ���+T�� ����� �� ������ � ����� ��� �� ��0 ��*� �. ����T�� � ! '� � �*� ���P���� ���� ��P� *�S�� ������� �+� � O ������* � ����� � ����� � ����� � �U��+���� ��� ����*�! �! '���S���� �U����S������ ������ �� ����.� �P��*��� P�����*�� � ����*� ��� B�� µ�� � ������0 � � � ��+� ����* �� P��+����! '�� � �* �.��� � 0 � ��� ������.� ���+� ! '���.� ������� � � ��+�0 ����* B≥$V�!!!�V�(�'! @ � �* ���+�� �U��+���� 1016 1017 1018 n 0 , �*–3 1, 2, 3 4 5 1, 2, 3 4 5 1016 1017 1018 n 0 , �*–3 �( B B� 100 10–1 10–2 U( µ µ� 1,0 0,5 0 d�����*�� O � ���� ��O���� �P*����� ������ ����� $�( � �����S��� � $4( � ��+��O��� ������ ����� ����0 ���� P�� �� � �������� ����� ��� ��P��+�.� ��P�� �U0 ��+��� ��� ����*�5 " �[���] �*\�, " V[���] �*\�, "�[���V �*\�, " V[���V �*\�, " �[���� �*\� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � _ ��������� �� ���� ������ ���� ���+T�� ����� �� �����! '���U�.� �XX�� �� ��0 +�� � � S��� �� ���" ��lG! @ ���� ���+�� ��� �0 � � � �� B≤$V�!!!�V�(�'! d���O ��P��O � �* �U��0 +��� �� � � ��*������� ��� ����������.*� ��X�� �*� ���� O �� �����P������W��� ��� � �� ! ����� �XX�� ������ � ��*�+����� �� ��+���� O �� P��+���� �*���� ��. VV�"���lG! ! '�������S� ��O�� ����.� ���+�� *�S� U. O �.P��� ��������* ��U� ����.� � �*�� ���� ����0 +����� ��T� �� ��� �P *�S���P��O���� � ����� �0 ��� ����S���� ��� ���� ���* ��� �����! )��+T�0 ��� � ��� ��. ��� � �* �P*�� � ������ ��������0 �� � ��������� ���� ���� P�� ��! %��*� ���� P���O ������ ���� ��� O �U��P����� ���� ���� ��� m��0 ��������.� ��X�� " ���*��O " ������� n� ���0 ��U� ���W�� � ��� ���U���.� ���� ���� P�� ��! @ ���� ���+�� *�S� U. O �U�������� ��P�����* ��� U��OT�� ��P�� �U��+��� ����������.� ��X�� ��� �.� ����W�� � ���� ���U���� ����� ���.� ���*�0 ���! L � �Uo �� � ���O��� ��*�������� ����� � ��*�+����� �� ��+���� O ����� �XX�� �! ]! @�P���� ��� �U��+��� �� P����� � ��� ��0 �����W�� ���*��� � ��� S����� � ��� $�����S0 �� ��� ��� ������O�.� ����(! V! @ ��������+����* ����� � �U��+���� ��� ��0 ��*� ��� ����� �� ��������� ����� ��*� ��� ��0 ����O�.� ����� �������� ����� ������ ��P���� O �� ��� ���� � P�����*�� � � ��P. �U��+��� ! '��0 �.� ��� " *��.� ��P. �U��+��� �� �[���V �*\�! #� *�S� ���S� O ����� ��* ���+T��� ����� � ����� $���.T��� �����S��� � ���� ���� P�� �� � �����0 +��� U.� ������ �� ( � ��� �� � � ���U���� �X0 X�� ���� �� ����� � ��+��O��� ������ ������ ���0 U���.� ���� ���� P�� �� U���� �[���� �*\ ! @ ���� ��� \ ��P. �U��+��� U���� V[���V �*\�! #������� �XX�� ��� ��P���� �� \ �*��OT���� ������ ����� � �����S��� � ���� ���� P�� ��! �� ���.T��� � ����� � � �����*� ���� �U��+��� ������ ����0 ���� O ���� Y2Z< �� ������ ����� �������W�� ���0 *��� �� *���� V[���f �*\ ! BG'#AMd#@K--FD BG�#E-B%B �! %�� ���� G! '! I�����P*. ������ �*��� � ��� �0 ���U��P����� ��������� �� ����� p7\Z9 ��� �U��+�0 ��� α0+�� ���*� �� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���!" �__f!" � �!" G! �" _! �! %�� ���� G! '! ��������� � *� ������������� ��� ������� ��� �� ����� ���.� ���� ����.� ��*�����0 �� �� ��* S�!" �___!" � �" !" G! �"] ! ! qr>s:=6 t!� u21=:;=6 Z! vs7>s3:9 =w 7>w>x;36> xsy<;24 <;s?x;?s> zy 3=:3{3:9 s2732;3=: $>ww>x; =w <1244 7=<>< =w s2732;3=: ( �� ps=9s21 =w ;r> u|} �__f }js3:9 u>>;3:9!" }2:0cs2:x3<x=� qZ!" �__f!" p! V�! ]! K! �! ���f�� GGGH! G����U X��*������� ������0 ��� �.� ���������������.� � ��� �� ~ @! A! K���� �0 *��� �! B! &���.�� G! '! %�� ���� � ��!" ��!�_ �__�! V! %������� H! @!� ������ �! K!� ��P�� A! G! @�P*�S0 ��� � ������������ ��������� � ����P���� �� ������ �� L��� ����� ������! G��! '��������������.� ���0 U��.!\ �_ff!" � �!" G! ]�"V�! �! I�������� @! K!� d�������� @! K! @�� ��� �������0 ����� �U��U� �� �� ����*� �. �� �����O�.� ����U��P�0 �� ���� �*���� ��. �� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���!" ����!" � �!" G! �V"��! �! �>4y2>6 Z! /!� �s>{2 b!� �>:9>s /! c! >; 24! |2732;3=: s><3<;2:x> =w Y2Z<0z2<>7 13xs=�26> }xr=;;�y0z2ss3>s 7>0 63x><! }=1> jry<3x=0;>xr:=4=93x24 2<j>x;<!" %�>�!5 �-�DH'HDG A��� �__f! �������� �� ��� ���� ������ � �� ��������� �� � ������� �� ����������� ������������ � �� ���� � ���������� �� ������ ����������������� ���������������� �������������������� � !� ��"� � �!�#� �����$� �������%���"&�#� '� ��(����� �� ��)*� +�������� (���� �,��(�"&����"� &�������%"���(��"�� ����$���������������"������%������������-$ ��%������� -.� ����(���*�/ ��0"� � ������&"������������������1�2������$�'3��3$ 4�����$� � *� +��!��������$� 53$� ��������� ������� � �� ��� 6�789:1� ;<68=>?6@@8*A6; �������� ������� � ��������������������� �� �� �(���"�� ��� �"���"&� �"�"&-�#�����(�������� ��"���(� ��� ��� �"����� �������� ���. ������ ���0"�(���(���B �(���"�����(��"�"&�������� ����� �(�B �(���"��������"&������������ �B �(���"��������"&����&(�����������$������"�� �-C�(�$���� ����� ��$���"���� � �� %�"�"� �D������ �B �(���"������"&�������$���"�� D$����� ��%�"��"�$���"������"����"� &��� ��* �������������� �!�"� �#$��%&%'(�)��*&(�+,�-./012��34-0567-880$9-3:� +�%;,!%'(�)<$��!(##�����$���,;,�,=#>�"��?@:��A=,�%'(�)B?C DEE.FD.GH��DEE.DI.CE: