Электротепловой элемент сенсоров газа

Описано конструктивно-технологическое исполнение сенсора газа с встроенным электрическим тепловым элементом, выполненным методом тонкопленочной технологии. Проведен расчет мощности изготовленного из нихрома термонагревателя сенсора. Для обеспечения стабилизированной температуры рабочей поверхности с...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Date:2002
Main Author: Лепих, Я.И.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2002
Series:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Subjects:
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70807
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Электротепловой элемент сенсоров газа / Я.И. Лепих // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 6. — С. 43-44. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine