Интегральные микроэлектронные преобразователи для дистанционных измерений
Разработаны магнито- и газочувствительные интегральные преобразователи с частотным выходом на базе пленок поликристаллического кремния, выращенных в едином технологическом цикле эпитаксиального наращивания монокристаллических пленок n-типа проводимости....
Gespeichert in:
| Datum: | 2001 |
|---|---|
| 1. Verfasser: | |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2001
|
| Schriftenreihe: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70879 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Интегральные микроэлектронные преобразователи для дистанционных измерений / Я.Ю. Гусейнов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 4-5. — С. 51-52. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |