RF discharge in argon with cylindrical dust particles

Kinetic computer simulations of the low pressure RF discharge in argon with cylindrical and spherical dust particles are carried out using PIC/MCC method. The Monte Carlo technique is used to describe electron and ion collisions with neutral atoms, ions, and dust particles. Obtained results show the...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Datum:2005
Hauptverfasser: Chutov, Yu.I., Goedheer, W.J., Kravchenko, O.Yu., Levada, G.I., Lisitchenko, T.E., Romanenko, R.O.
Format: Artikel
Sprache:English
Veröffentlicht: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2005
Schriftenreihe:Вопросы атомной науки и техники
Schlagworte:
Online Zugang:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79801
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:RF discharge in argon with cylindrical dust particles / Yu.I. Chutov, W.J. Goedheer, O.Yu. Kravchenko, G.I. Levada, T.E. Lisitchenko, R.O. Romanenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 2. — С. 194-196. — Бібліогр.: 5 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine