Development and application of metal contacts on polycrystalline diamond films using combination of HF and arc plasma sources
In this paper, the technology of application of ohmic contacts using arc discharge assisted by HF field was developed for semiconductor radiation detectors production. Polycrystalline diamond material for production of detectors was synthesized by chemical vapor deposition method (CVD) in NSC KIPT....
Gespeichert in:
| Datum: | 2014 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2014
|
| Schriftenreihe: | Вопросы атомной науки и техники |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/81960 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Development and application of metal contacts on polycrystalline diamond films using combination of HF and arc plasma sources / R.M. Muratov, A.A. Vierovkin, V.E. Kutny, Yr.N. Nezovibat’ko, A.V. Rybka, V.S. Taran // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 6. — С. 233-236. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. |