2D fluid model for interactive development of ICP technological tools
The software for ICP device simulation is worked out. Discharge chamber geometry, RF power, pressure and working gas type are the input data. The results of calculation are inductor voltage, ion current density distribution on the chamber surface, steady state space distributions of the electric f...
Gespeichert in:
| Datum: | 2006 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2006
|
| Schriftenreihe: | Вопросы атомной науки и техники |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/82306 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | 2D fluid model for interactive development of ICP technological tools / A.V. Gapon, A.N. Dahov, S.V. Dudin, A.V. Zykov, N.A. Azarenkov // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 6. — С. 186-188. — Бібліогр.: 3 назв. — англ. |