Ion energy distributions in RF sheaths with dust particles
We study ion energy distributions functions (IEDFs) within an rf sheath with dust particles in SiH₄ radio-frequency discharges and compare results with ones in Ar rf discharges. The simulations are carried by PIC/MCC method over a wide range of pressure, dust density and dust radius. Our model inclu...
Gespeichert in:
| Datum: | 2009 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2009
|
| Schriftenreihe: | Вопросы атомной науки и техники |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/88235 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Ion energy distributions in RF sheaths with dust particles / O. Yu. Kravchenko, Yu. A. Yastrub, G.I. Levada, T.Y. Lisitchenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 1. — С. 95-97. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. |