Электронно-лучевые установки для испарения и осаждениянеорганических материалов и покрытий
Представлены технические характеристики и конструктивные особенности электронно-лучевых установок, разработанных в Международном центре электроннолучевых технологий Института электросварки им. Е. О. Патона и предназначенных для получения материалов и покрытий путем электронно-лучевого испарения и по...
Saved in:
| Date: | 2004 |
|---|---|
| Main Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України
2004
|
| Series: | Современная электрометаллургия |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/95079 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Электронно-лучевые установки для испарения и осаждениянеорганических материалов и покрытий / Б.А. Мовчан, К.Ю. Яковчук // Современная электрометаллургия. — 2004. — № 2 (75). — С. 10-15. — Бібліогр.: 14 назв. — рос. |