Определение величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках
Нами предложен метод оценки величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в плазменной технологической установке, прямые измерения которого затруднены. Метод основан на измерении координат точки поворота на кривой зажигания ВЧ разряда и использовании известных значений дрейфовой скорости элек...
Gespeichert in:
| Datum: | 2005 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2005
|
| Schriftenreihe: | Физическая инженерия поверхности |
| Online Zugang: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98726 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Определение величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках / В. Лисовский, Ж.П. Бут, K. Ландри, Д. Дуэ, Г. Ренар, В. Касань // Физическая инженерия поверхности. — 2005. — Т. 3, № 1-2. — С. 70–78. — Бібліогр.: 21 назв. — рос. |