Электрические свойства межзеренных границ в объеме поликристаллического кремния
В работе изучены геометрические параметры и электрические свойства межзеренных границ в объеме поликристаллического кремния. Обнаружено изменение направления температурной зависимости проводимости межзереных границ в интервале температуры ~300 ÷ 900 К. Это объясняется проявлением рекомбинационных...
Gespeichert in:
Datum: | 2013 |
---|---|
Hauptverfasser: | , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | Russian |
Veröffentlicht: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2013
|
Schriftenreihe: | Физическая инженерия поверхности |
Online Zugang: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/99828 |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Zitieren: | Электрические свойства межзеренных границ в объеме поликристаллического кремния / Л.О. Олимов, М. Муйдинова, Ф.Л. Омонбоев // Физическая инженерия поверхности. — 2013. — Т. 11, № 2. — С. 212–215. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |