Осаждение алмазных покрытий с использованием тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем

Saved in:

Bibliographic Details
Date:	2003
Main Authors:	Пашнев, В.К, Стрельницкий, В.Е., Опалев, О.А., Грицына, В.И., Выровец, И.И., Бизюков, Ю.А., Брык, В.В., Колупаева, З.И.
Format:	Article
Language:	Russian
Published:	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2003
Series:	Физическая инженерия поверхности
Tags:	Add Tag No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:	Осаждение алмазных покрытий с использованием тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем / В.К Пашнев, В.Е. Стрельницкий, О.А. Опалев, В.И. Грицына, И.И. Выровец, Ю.А. Бизюков, В.В. Брык, З.И. Колупаева // Физическая инженерия поверхности. — 2003. — Т. 1, № 1. — С. 49-55. — Бібліогр.: 23 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine