Полирование прецизионных поверхностей сапфировых элементов оптоэлектроники
В результате исследования закономерностей полирования монокристаллического сапфира обоснована целесообразность последовательного применении водных полировальных суспензий из порошков МАХ-фазы ТІ₃АІС₂ и кубического нитрида бора, а также коллоидных систем из наночастиц полировальных порошков....
Saved in:
| Date: | 2015 |
|---|---|
| Main Authors: | , , , , , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
2015
|
| Series: | Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения |
| Subjects: | |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Полирование прецизионных поверхностей сапфировых элементов оптоэлектроники / Ю. Д. Филатов, В. И. Сидорко, Т. А. Прихна, А. Ю. Филатов, С. В. Ковалев, А. И. Боримский, А. Н. Панова, В. Г. Кулич, А. Г. Ветров, Я. Л., Данильченко М. А. Сильченко // Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент – техника и технология его изготовления и применения: Сб. науч. тр. — К.: ІНМ ім. В.М. Бакуля НАН України, 2015. — Вип. 18. — С. 472-477. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. |