Интегральные микроэлектронные преобразователи для дистанционных измерений
Разработаны магнито- и газочувствительные интегральные преобразователи с частотным выходом на базе пленок поликристаллического кремния, выращенных в едином технологическом цикле эпитаксиального наращивания монокристаллических пленок n-типа проводимости....
Saved in:
| Date: | 2001 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2001
|
| Series: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Subjects: | |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Интегральные микроэлектронные преобразователи для дистанционных измерений / Я.Ю. Гусейнов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 4-5. — С. 51-52. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |