Влияние структуры поликремниевых пленок на оптические характеристики отраженного света
Рассмотрены оптические характеристики сложных многослойных систем на основе кремния. Исследовано влияние структуры поликристаллических пленок с наноразмерными особенностями на характер угловых зависостей коэффициентов отражения Rp и Rs. Показано, что для интерпретации полученных экспериментальных р...
Gespeichert in:
| Datum: | 2009 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Ukrainian |
| Veröffentlicht: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2009
|
| Schriftenreihe: | Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Влияние структуры поликремниевых пленок на оптические характеристики отраженного света / О.И. Барчук, К.С. Биленко, А.А. Голобородько, В.Н. Курашов, Е.А. Оберемок, С.Н. Савенков // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології: Зб. наук. пр. — К.: РВВ ІМФ, 2009. — Т. 7, № 2. — С. 421-431. — Бібліогр.: 13 назв. — укр. |