Manuilenko, O., & Minaeva, K. (2006). Ion energy and angular distributions in RF capacitively coupled plasma sources. Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України.
Chicago Style (17th ed.) CitationManuilenko, O.V, and K.M Minaeva. Ion Energy and Angular Distributions in RF Capacitively Coupled Plasma Sources. Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України, 2006.
MLA (8th ed.) CitationManuilenko, O.V, and K.M Minaeva. Ion Energy and Angular Distributions in RF Capacitively Coupled Plasma Sources. Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України, 2006.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.