Использование микро- и нанодисперсного алмаза для осаждения поликристаллических алмазных пленок в тлеющем разряде
Поликристаллические алмазные пленки осаждались на подложки из поликристаллического Mo и монокристаллического Si в тлеющем разряде, стабилизированном магнитным полем, в смеси Н2 и СН4 . Методами рентгеноструктурного анализа и оптической микроскопии исследовано влияние температуры подложек и их пр...
Saved in:
Date: | 2007 |
---|---|
Main Authors: | Выровец, И.И., Грицына, В.И., Опалев, О.А., Решетняк, Е.Н., Стрельницкий, В.Е. |
Format: | Article |
Language: | Russian |
Published: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2007
|
Series: | Физическая инженерия поверхности |
Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Cite this: | Использование микро- и нанодисперсного алмаза для осаждения поликристаллических алмазных пленок в тлеющем разряде / И.И. Выровец, В.И. Грицына, О.А. Опалев, Е.Н. Решетняк, В.Е. Стрельницкий // Физическая инженерия поверхности. — 2007. — Т. 5, № 1-2. — С. 87–93. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineSimilar Items
-
Использование микро- и нанодисперсного алмаза для осаждения поликристаллических алмазных пленок в тлеющем разряде
by: Выровец, И.И., et al.
Published: (2007) -
Особенности синтеза алмазных пленок в тлеющем разряде постоянного тока
by: Грицына, В.И., et al.
Published: (2018) -
Особенности синтеза алмазных пленок в тлеющем разряде постоянного тока
by: Грицына, В.И., et al.
Published: (2018) -
Рентгенографическое исследование структуры и напряженного состояния алмазных покрытий, полученных в тлеющем разряде
by: Выровец, И.И., et al.
Published: (2008) -
Рентгенографическое исследование структуры и напряженного состояния алмазных покрытий, полученных в тлеющем разряде
by: Выровец, И.И., et al.
Published: (2008)