Influence of gettering on aluminum ohmic contact formation

Influence of gettering on aluminum ohmic contact formation

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2020
Hauptverfasser:	V. N. Litvinenko, Ye. A. Baganov, I. M. Vikulin, V. E. Gorbachev
Format:	Artikel
Sprache:	English
Veröffentlicht:	2020
Schriftenreihe:	Technology and design in electronic equipment
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001194825
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