Nanostructuring the SiOx layers by using laser-induced self-organization

Nanostructuring the SiOx layers by using laser-induced self-organization

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2017
Hauptverfasser:	O. V. Steblova, L. L. Fedorenko, A. A. Evtukh
Format:	Artikel
Sprache:	English
Veröffentlicht:	2017
Schriftenreihe:	Semiconductor Physics, Quantum Electronics and Optoelectronics
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000741621
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