Dopant depth profile modification during mass Spectrometric analysis of multilayer nanostructures

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2015
Hauptverfasser:	A. A. Efremov, V. G. Litovchenko, V. P. Melnik, O. S. Oberemok, V. G. Popov, B. M. Romanyuk
Format:	Artikel
Sprache:	English
Veröffentlicht:	2015
Schriftenreihe:	Ukrainian journal of physics
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000701174
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