Evolution of the structure of Mo films obtained by magnetron sputtering on a-Si

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Bibliographische Detailangaben
Datum:2011
Hauptverfasser: V. A. Sevrjukova, E. N. Zubarev, V. V. Kondratenko, Ju. P. Pershin, V. O. Tsebenko
Format: Artikel
Sprache:English
Veröffentlicht: 2011
Schriftenreihe:Physical surface engineering
Online Zugang:http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000889993
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