Особливості зародження та упорядкування GeSi наноострівців у багатошарових структурах, сформованих на Si та Si1-xGex буферних шарах
Методами високороздільної X-променевої дифракції (ВРХД), комбінаційного розсіяння світла (КРС) і фотолюмінесценції (ФЛ)досліджено вплив параметрів буферного шару Si1–xGex на просторове впорядкування самоіндукованих наноострівців Gе убагатошарових структурах SiGe/Si, вирощених на (001)Si підкладках....
Saved in:
Date: | 2022 |
---|---|
Main Authors: | , , , , , , |
Format: | Article |
Language: | Ukrainian English |
Published: |
Publishing house "Academperiodika"
2022
|
Subjects: | |
Online Access: | https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2022121 |
Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
Journal Title: | Ukrainian Journal of Physics |