Механiзми модифiкацiї профiлiв розподiлу домiшок при мас-спектрометричному аналiзi багатошарових наноструктур...

by Efremov, A. A., Litovchenko, V. G., Melnik, V. P., Oberemok, O. S., Popov, V. G., Romanyuk, B. M.
Published 2019