Optical Recording of Micro- and Nano- Relief Structures on Inorganic Resists Ge-Se

Optical Recording of Micro- and Nano- Relief Structures on Inorganic Resists Ge-Se

The results of experimental studies on recording of microrelief structures using a focused laser radiation with a wavelength of 405 nm to photoresist films of inorganic system Ge-Se have been presented. It is shown that the microrelief structures having depth of 100 nm can be obtained on the inorgan...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2013
Автори:	Indutny, I. Z., Kryuchyn, A. A., Borodin, Yu. A., Danko, V. A., Lukanyuk, M. V., Minko, V. I., Shepelyavyi, P. E., Gera, E. V., Rubish, V. M.
Формат:	Стаття
Мова:	rus
Опубліковано:	Інститут проблем реєстрації інформації НАН України 2013
Теми:	inorganic photo-resist optical recording micro-relief structure
Онлайн доступ:	http://drsp.ipri.kiev.ua/article/view/103416
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Data Recording, Storage & Processing

Репозитарії

Data Recording, Storage & Processing

Схожі ресурси

Direct laser writing of microrelief structures on chalcogenide glass by laser beam recorder of master discs
за авторством: Petrov, V. V., та інші
Опубліковано: (2020)

The use of chalcogenide glassy semiconductors to create micro- and nanoscale structures
за авторством: Petrov, V. V., та інші
Опубліковано: (2020)

Investigation of micro-seismic phenomena of anthropogenic origin
за авторством: Zdeshchyts, V., та інші
Опубліковано: (2015)

Registration Materials for Laser Thermolithography
за авторством: Kryuchyn, A. A., та інші
Опубліковано: (2012)

Mass-spectrometric study of single-walled carbon nanotubes modified by aliphatic amines
за авторством: Gromovoy, Yu., та інші
Опубліковано: (2002)

Low-field electron emission and cathode luminescence of piezoelectric films of oxides and chalcogenides
за авторством: Dadykin, A.A., та інші
Опубліковано: (2002)

Spectral and quantum-mechanical study of electronic structure of ultradispersed calcium hydroxyapatite
за авторством: Shpak, A.P., та інші
Опубліковано: (2002)

Synthesis of high-temperature superconducting yttrium-barium cuprate single crystals and study of their properties
за авторством: Bakuntseva, M.V., та інші
Опубліковано: (2002)

Stabilizing small particles of lithium hydroxide with adsorbed water molecules: a quantum chemical study
за авторством: Grebenyuk, A.G.
Опубліковано: (2002)

Optical properties of metal-composite-based thin films
за авторством: Gozhenko, V.V., та інші
Опубліковано: (2002)

Defect formation in the intermediate layers of YBa₂Cu₃O₇₋δ superconductors depending on oxygen сontents
за авторством: Adonkin, V.T., та інші
Опубліковано: (2002)

Subthreshold defect formation in YBa₂Cu₃O₇₋δ at nonuniform heating of electron gas in electromagnetic field
за авторством: Adonkin, V.T., та інші
Опубліковано: (2002)

Some aspects of mechanical characteristics forming in carbon materials based on exfoliated graphite
за авторством: Sementsov, Yu.I., та інші
Опубліковано: (2002)

Electrodynamic properties of matrix dispersed systems with two-layer inclusions
за авторством: Grechko, L.G., та інші
Опубліковано: (2002)

Study of water diffusion in lymphocyte membranes from thymus gland and spleen of rats by method of quasi-elastic scattering of slow neutrons
за авторством: Grechko, L.G., та інші
Опубліковано: (2002)

AN IMPROVED PHOTOCLINOMETRY TECHNIQUE FOR SURFACE RELIEF RETRIEVAL FROM IMAGES: ERROR LEVELS FOR HEIGHT AND SLOPE ESTIMATES
за авторством: Dulova, I. A., та інші
Опубліковано: (2023)

IMAGES MATCHING IN CASE OF SURFACE RELIEF RECONSTRUCTION WITH THE PHOTOCLINOMETRIC METHOD
за авторством: Dulova, I. A., та інші
Опубліковано: (2015)

Formation of cluster structures on thermoexfoliated graphite by electrochemical method
за авторством: Sidorenko, I.G., та інші
Опубліковано: (2002)

Relief parameters and angular distribution of light intensity for axisymmetric surface homogenizing structures
за авторством: Antonov, E. E., та інші
Опубліковано: (2020)

The state of effective use of micro-prismatic optical structures for the treatment of children strabismus in Ukraine
за авторством: Солоніна, Н. В., та інші
Опубліковано: (2021)

LOCAL HEIGHT CALCULATION ERRORS IN THE PLANET SURFACE RELIEF RETRIEVED FROM IMAGES BY THE IMPROVED PHOTOCLINOMETRY METHOD
за авторством: Dulova, I. A., та інші
Опубліковано: (2025)

MicroRNAs are a key factor in the globalization of tumor-host relationships
за авторством: Chekhun, V.F.
Опубліковано: (2023)

RECENT AND RELIC ACCUMULATIVE RELIEF FORMS IN COASTAL ZONES OF NORTHERN NEAR AZOV SEA TERRITORIES
за авторством: NEPSHA, O. V.
Опубліковано: (2012)

The impact of low temperature thermal annealing on optical properties of thin composite films
за авторством: Gorbov, I. V., та інші
Опубліковано: (2014)

The deep structure of the Greater Caucasus on the basis of geophysical data according to new technologies. 1. Gravimetry, magnetometry, local seismic tomography and micro seismic sounding
за авторством: Ghonghadze, S. A.
Опубліковано: (2016)

Design Features for Recording Systems of High Density Optical Discs
за авторством: Kosyak, I. V.
Опубліковано: (2014)

Main Sections of the Earth Crust and Upper Mantle of the Greater Caucasus by New Technologies. 2. Deep Seismic Sounding, Micro Seismic Sounding
за авторством: Ghonghadze, S. A., та інші
Опубліковано: (2016)

Laser-induced changes in optical properties of amorphous films of the system Ge-Se
за авторством: Рубіш, В. М., та інші
Опубліковано: (2024)

REACTIVE POWER CONTROL IN MICRO-GRID NETWORKS USING ADAPTIVE CONTROL
за авторством: Moghayadniya, A., та інші
Опубліковано: (2019)

Resolution and Prismatic Effect of Micro-Prism Fresnel Elements
за авторством: Antonov, E. E.
Опубліковано: (2013)

A map of absolute values for gravity fields of Ukraine and some aspects of its possible interpretation
за авторством: Entin, V.A., та інші
Опубліковано: (2015)

THE MICRO- AND NANOSECOND DISCHARGES IN GAS BUBBLES FOR WATER DISINFECTION AND PURIFICATION
за авторством: Boyko, N. I., та інші
Опубліковано: (2019)

Semiconductor laser diode control in optical disc writing systems.
за авторством: Kosyak, I. V.
Опубліковано: (2019)

STABILITY ANALYSIS OF HYBRID ENERGY STORAGE BASED ON SUPERCAPACITOR AND BATTERY
за авторством: Bondarenko, O. F., та інші
Опубліковано: (2020)

Expression of microRNA in tumor cells of endmetrioid carcinoma of endometrium
за авторством: Buchynska, L.G., та інші
Опубліковано: (2023)

Multiscale analysis of micro- and nano-flows
за авторством: A. O. Avramenko
Опубліковано: (2017)

On the experience of reproducing sound information from rarity record carriers and putting it into scientific circulation
за авторством: Kosyak, I. V., та інші
Опубліковано: (2017)

Investigation of orientation impact on electrical power of bifacial solar elements
за авторством: Wysochin, V. V., та інші
Опубліковано: (2021)

Storing Ukrainian folk music collections by digitizing the Osyp Rozdolskyj phonographic collection
за авторством: Kryuchyn, A. A., та інші
Опубліковано: (2016)

Traces of editing in digital phonograms performed by method of excision and transposition of fragments
за авторством: Rybalsky, O. V., та інші
Опубліковано: (2016)