Анализ условий синтеза сверхтвердых пленок диборида тантала в магнетронных распылительных системах
В данной работе проведены исследования параметров синтеза тонких пленок диборида тантала, полученных в системах ВЧ- и ПТ-магнетронного распыления. Сделан сравнительный анализ энергетических условий синтеза этих пленок. Показано, что в зависимости от метода, используемого для получения пленки (ВЧ или...
Gespeichert in:
| Datum: | 2017 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2017
|
| Schriftenreihe: | Журнал физики и инженерии поверхности |
| Online Zugang: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/130542 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Анализ условий синтеза сверхтвердых пленок диборида тантала в магнетронных распылительных системах / А.А. Гончаров, А.Н. Юнда, А.В. Зыков, В.И. Фареник, И.В. Шелест, В.В. Буранич // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2017. — Т. 2, № 2-3. — С. 105–114. — Бібліогр.: 36 назв. — рос. |