Радиальная структура продольного комбинированного разряда в SF6
Данная работа посвящена экспериментальному изучению влияния высокочастотного электрического поля на радиальные зависимости плотности тока ионов разряда постоянного тока, а также постоянного напряжения на радиальные зависимости плотности тока высокочастотного разряда. В разрядной камере, содержащей э...
Saved in:
| Date: | 2009 |
|---|---|
| Main Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2009
|
| Online Access: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/7981 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Радиальная структура продольного комбинированного разряда в SF6 / В.А. Лисовский, Н.Д. Харченко // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 3. — С. 204-209. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |