Радиальная структура продольного комбинированного разряда в SF6

Данная работа посвящена экспериментальному изучению влияния высокочастотного электрического поля на радиальные зависимости плотности тока ионов разряда постоянного тока, а также постоянного напряжения на радиальные зависимости плотности тока высокочастотного разряда. В разрядной камере, содержащей э...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Datum:2009
Hauptverfasser: Лисовский, В.А., Харченко, Н.Д.
Format: Artikel
Sprache:Russian
Veröffentlicht: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2009
Online Zugang:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/7981
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Радиальная структура продольного комбинированного разряда в SF6 / В.А. Лисовский, Н.Д. Харченко // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 3. — С. 204-209. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine