Study of the state of the working surface of the tool at polishing the substrate from nitride aluminum

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Bibliographische Detailangaben
Datum:2018
Hauptverfasser: Yu. D. Filatov, V. I. Sydorko, S. V. Kovalov, V. A. Kovalov, Ya. Yurchyshyn, M. A. Danylchenko, A. H. Vietrov
Format: Artikel
Sprache:English
Veröffentlicht: 2018
Schriftenreihe:Tooling materials science
Online Zugang:http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0001084537
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Назва журналу:Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS

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